판매용 중고 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293770464
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ACCRETECH/TSK PG 300 RM은 고속, 완전 프로그래밍 가능 및 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 정확하고 효율적인 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 맞춤형 프로세스를 활용하여 고품질 결과를 산출합니다. 여기에는 연삭 및 연마 공정의 정확한 제어가 가능한 5 축 정밀 위치 지정 테이블이 포함되어 있습니다. 200 ~ 300mm 웨이퍼를 자르고 처리하기위한 고속 그라인딩 모터도 있습니다. 이 시스템은 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스를 활용하여 빠르고 쉽게 설치 및 작업을 수행할 수 있습니다. 이 도구는 직경 200 밀리미터를 포함하여 여러 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 표면 품질 마감은 2 센티미터 이하로, 거칠기는 최대 50nm입니다. 정확도를 높이고 높은 생산 수율을 보장하는 2 단계 연삭 프로세스를 사용합니다. 에셋에는 6 축 모션 프로그램을 사용하는 랩핑 및 연마 용 초정밀 스핀들 모터가 포함되어 있습니다. 이는 기존의 방법보다 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. TSK PG300RM에는 자동화 프로세스, 자동 웨이퍼 중심, 압력 제어 등 다양한 조정 기능 및 제어 기능이 있습니다. 또한 공정 표면에서 입자를 효율적으로 추출하기위한 진공 디스펜서 (vacuum dispenser) 가 포함되어 있습니다. 전체 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스는 사이클 시간을 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한 Emergency Stop 버튼, Interlock Loading/Unloading, Hand-Touch Protection 등의 안전 기능이 포함되어 있어 사용자 안전을 보장합니다. 이 다재다능하고 견고한 장비는 대량 생산 및 연구 개발 (R&D) 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 고객의 특정 요구 사항에 맞게 정밀하게 조정할 수 있는 정확하고, 반복 가능하며, 매우 자동화된 결과를 제공합니다. 또한, 이 장치는 작동 및 유지 관리가 매우 간단합니다.
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