판매용 중고 VON ARDENNE CS 850S #9167930

VON ARDENNE CS 850S는 중대형 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 균일 하고 일관성 있는 금속층, 유전체 또는" 세라믹 코우팅' 으로 기판 을 입히도록 설계 되었으며, 그 들 에게 특정 한 "응용프로그램 '에 맞춘 다양 한" 스퍼터' 공정 을 제공 한다. CS 850S는 아노디 화 된 알루미늄과 강철로 구성되며, 모든 부품은 가압 된 스테인리스 스틸 진공실 안에 보관되어 있습니다. 챔버는 직경이 12 ", 길이가 18.5" 이며 150 mTorr로 간단히 대피 할 수 있습니다. 챔버 위에는 직경 9 인치, 깊이 3.5 인치 인 증발/스퍼터링 음극이 있으며, 동시 코팅을 위해 최대 6 개의 원형 기판을 보관하도록 설계되었습니다. 챔버의 아래쪽에는 4.5 "x 4.5" 의 공간을 차지하는 마그네트론 스퍼터링 소스 (Magnetron Sputtering Source) 가 있으며, 이상적인 증착률과 필름 품질을위한 활기찬 스퍼터링 환경을 제공합니다. VON ARDENNE CS 850S에는 프로세스 모니터링 및 조정을 위한 통합 터치 스크린 모니터가있는 기본 컨트롤러가 있습니다. 최대 500 ° C의 온도를 허용하는 RF 난방 장치가 장착되어 있습니다. 증착율, 예금 두께, 균일성, 거칠기와 같은 프로세스 매개변수는 컨트롤러에서 수정할 수 있습니다. 또한, 기계는 최대 1 분 1 초의 증착율을 제어 할 수 있으며, 패턴 증착에 연속 모드를 사용할 수 있습니다. 또한 기판 온도 컨트롤러 (Substrate Temperature Controller), 최대 6개의 기판을 처리하기위한 자산, 운영 및 관리를위한 여러 소프트웨어 프로그램도 제공됩니다. CS 850S 는 사용자 친화적 인 것 으로 설계 되었으며, 여러 분야 의 과학자 들 과 엔지니어 들 에 의해 사용 되어, 균일 하고 질 있는 박막 "코우팅 '을 빠르고 일관성 있게 입금 할 수 있다.