판매용 중고 VG MICROTECH SC7620 #293597949
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VG MICROTECH SC7620은 유리, 실리콘, 도자기 등 기판의 재료의 박막 증착을 위해 설계된 혁신적인 스퍼터링 장비입니다. 이 기술 은 사진 "코팅 '에서부터 의료 진단 장비 에 이르기 까지, 많은 제품 의 제조 에 사용 된다. SC7620은 강력하고 에너지 효율적인 터보 드라이브 진공 펌프 (turbo-drive vacuum pump) 와 프로그래밍 가능한 DC 아크 대상 전원이 장착된 고성능 시스템입니다. 높은 스퍼터 속도, 뛰어난 균일성 및 뛰어난 목표 활용도를 제공합니다. VG MICROTECH SC7620에는 멀티 베이 스퍼터링 플랫폼이 있으며, 최대 4 개의 독립적으로 프로그래밍 가능한 스퍼터 소스가 있습니다. 각 소스는 고급 마그네트론 (magnetron) 기술을 사용하여 뛰어난 코팅 균일성을 제공하며 스퍼터링 중 정력적인 입자 폭격을 변경할 수 있습니다. 또한, SC7620에는 선택적 마그네트론 스퍼터 쉴드 (magnetron sputter shield) 가 장착되어 코팅의 교차 오염을 예방할 수 있습니다. VG MICROTECH SC7620은 최대 6000 V의 고전압을 가진 프로그래밍 가능한 DC 아크 전원 공급 장치를 사용하여 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 아크 모니터 (arc monitor) 는 대상 재료의 최적의 증착을 보장하며 실시간 프로세스 모니터링 및 제어를 제공합니다. 이 장치에는 하위 유기체의 증착을 제어하기위한 정밀 초 보라색 컷 필터도 포함됩니다. SC7620 에는 다중 채널 가스 분사 장치 (multi-channel gas injection machine) 가 포함되어 있어 제조 과정에서 부분 압력의 정확한 제어가 가능합니다. 이 도구를 사용하면 산화물, 금속, 합금 등 다양한 재료를 스퍼터링할 수 있습니다. 스퍼터링 된 물질의 온도를 조정하여 적절한 접착 및 접착 최적화 (adhesion optimization) 를 보장 할 수도 있습니다. VG MICROTECH SC7620은 설치, 운영 및 유지 관리가 용이합니다. 여기에는 정교한 제어 및 모니터링 소프트웨어가 포함되어 있어 사용자 친화적입니다. 이 자산에는 Cleanroom 호환 컴퓨터 워크스테이션 및 웹 기반 모니터링이 포함되어 있으며, 엔지니어가 실시간 운영 매개변수를 볼 수 있습니다. 이 모델에는 클린 룸 호환 로봇 웨이퍼 처리 장비도 포함되어 있으며, 대용량 제조가 가능합니다. 스컬620 (SC7620) 은 다양한 어플리케이션을 갖춘 강력하고 다용도 시스템으로서, 모든 실험실에 매우 유용한 시스템입니다. 높은 스퍼터 속도, 뛰어난 균일성, 높은 목표 활용 및 고급 제어 기능을 갖춘 VG MICROTECH SC7620은 고정밀 박막 증착에 이상적인 선택입니다.
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