판매용 중고 VEECO Spector #9394865

VEECO/DEKTAK Spector는 정밀 도량형 전문 회사 인 VEECO에서 개발 한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 다양한 마이크로 일렉트로닉 칩 (microelectronic chip) 장치를 제작하는 데 사용되며, 고객의 운영 요구에 맞춘 다양한 스퍼터 (sputter) 도구를 제공합니다. VEECO Spector 장치에는 정확하고 반복 가능한 성능을 보장하기 위해 강력한 금속 베이스가 제공됩니다. 10 밀리토르 ~ 1 기압의 작동 범위로 평가되며 100 와트 (Watts) 로 작동하여 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 이 시스템은 최고 수준의 프로세스 제어 및 신뢰성을 제공합니다. 이 도구는 박막 증착을 위해 독점적으로 설계되었으며, 1 개 또는 2 개의 독립적 인 스퍼터링 헤드가있는 1 차 진공 챔버가 특징입니다. 샘플 이동, 사전 스퍼터링, 스퍼터링 후 및 포스트 프로세스를위한 별도의 챔버가있는 넓은 플랫폼이 있습니다. 이 자산에는 사전 스퍼터링 중 온도 조절 옵션도 포함됩니다. 이 모델은 정확한 타겟 배치와 함께 응용 프로그램 지향 스퍼터링 작업을 제공합니다. 스퍼터 (sputter) 대상은 홀더에 배치되며, 최소한의 노력으로 한 위치에서 다른 위치로 쉽게 이동할 수 있습니다. 이 플랫폼은 견고한 증착 제어로 반복 가능한 스퍼터 성능을 위해 설계되었으며, 다중 레이어 필름 (multilayer film) 을 만들기 위해 여러 레이어 쌓기, 또는 대용량 도구 (large-area tools) 나 고사양 비율 구조 (high-aspect ratio structure) 와 같은 비표준 기판 (non-standard substrate) 등의 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. DEKTAK Spector는 생산성을 고려하여 설계되었습니다. 모듈식 (modularized) 설계를 통해 구성 요소를 쉽게 변경하거나 장비에 추가할 수 있습니다. 이 시스템에는 또한 급속하고 효율적인 챔버 소진을위한 빠른 펌핑 1 차 진공실이 포함되어 있습니다. 또한, 스퍼터 헤드 (sputter head) 는 저저저항 필름을 증착 할 때 목표의 균일성을 보장하기 위해 독특한 회전 가능하고 기울기 쉬운 디자인을 가지고 있습니다. 마지막으로 Spector는 완전히 자동화됩니다. 여기에는 내장 패라메트릭 프로그래밍, 자동 조정 함수 (automatic adjustment function) 및 경보 알림 함수 (alarm notification function) 가 포함되어 있어 프로세스 중 잠재적인 문제를 사용자에게 알립니다. 이 사용자 친화적 (user-friendly) 단위는 칩 제작 산업에 혁명을 일으켰으며 전 세계 기업에서 널리 활용하고 있습니다.