판매용 중고 VEECO Spector #9115806

VEECO/DEKTAK Spector는 얇은 필름을 입금하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 반도체, 마이크로 일렉트로닉스, 데이터 스토리지 미디어, 의료 기술, 광학, 전자 제품 및 박막 연구 분야의 응용 분야에 사용됩니다. VEECO Spector는 PVD (Physical Vapor Deposition) 시스템입니다. 진공 실에서 작동하며 2 개의 스퍼터 소스가 장착되어 있습니다. 수직 스퍼터링 장치 (vertical sputtering unit) 와 평면 스퍼터링 머신 (planar sputtering machine) 의 두 가지 유형의 머신이 결합되어 있습니다. 평면 및 수직 소스를 사용하여 다른 재료를 배치 할 수 있습니다. DEKTAK 스펙터 (DEKTAK Spector) 는 또한 다양한 재료를 증착하고 다양한 증착 목표를 확보 할 수있는 멀티 타겟 모듈 식 디자인을 사용합니다. Spector 는 다양한 구성을 제공하며, 여러 대상 보유자와 샘플 보유자를 포함하도록 확장할 수 있습니다. 여러 개의 박막 (thin film) 을 모든 순서로 배치하고 여러 재료 대상을 한 번에 배치할 수 있습니다. 이 도구는 넓은 (43.3 인치) 작업 영역을 가지고 있으며 최대 11 인치 웨이퍼 또는 기판을 배치 할 수 있습니다. 챔버의 온도는 25 ~ 40 ° C로 유지됩니다. 프로세스 제어를 강화하기 위해 8 개의 채널 소스 냉각 에셋이 장착되어 있습니다. VEECO/DEKTAK Spector를 사용하면 금속, 합금, 복합 물질, 산화물, 유전체 및 금속과 같은 다양한 재료를 산화물 오버레이로 배치 할 수 있습니다. 모델의 용량은 높으며, 우수한 증착률과 균일성을 제공합니다. 또한 박막 응용 프로그램의 고속 생산에도 적합합니다. VEECO 스펙터 (VEECO Spector) 는 프로세스 제어를 고려하여 설계되었으며, 복잡한 증착 작업을 자동화하여 운영 속도가 빠르더라도 박막 증착의 균일성과 반복성을 보장합니다. 장비 전체 사용자 인터페이스 소프트웨어를 통해 엔지니어 또는 엔지니어는 모든 매개 변수를 제어하고, 프로세스 데이터를 보고, 보고서를 생성할 수 있습니다. 데이터베이스 복사기 (Database Copier) 기능을 사용하면 여러 기판 및 대상 정보에 쉽게 액세스하여 장기 실행 및 작업에 걸쳐 설치 정보를 그대로 유지할 수 있습니다. DEKTAK Spector는 정확하고 균일하게 고품질의 박막을 배치하는 효율적인 방법입니다. 대형 웨이퍼와 기판을 처리 할 수 있으며, 대규모 박막 제작에 적합합니다. 다양한 기능과 시스템 전반의 자동화 기능을 갖춘 스펙터 (Spector) 는 다양한 업계에서 박막 증착 (Thin Film Deposition) 을 달성하기에 이상적인 도구입니다.