판매용 중고 VEECO Spector #9004435

VEECO/DEKTAK Spector는 광학, 광전자, 의료 임플란트 개발 및 양자 장치 연구 분야의 응용 분야를 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템을 사용하면 금속, 절연체 및 반도체의 박막 증착이 기질에서 나노 스케일 구조를 개발할 수 있습니다. VEECO Spector 모델은 VEECO 제품군의 최신 버전이며, 이전에 스퍼터링 시스템에서 사용할 수 없었던 기능과 기능을 제공합니다. DEKTAK Spector에는 각각 개별 프로세스 제어 및 증착 매개변수가있는 4 개의 개별 스퍼터링 챔버가 있습니다. 이러 한 "챔버 '는 독립적 인" 플라즈마' 원 에 의해 구동 되는데, 이것 은 단단 한 자기 물질 을 매우 효율적 이고 반복 할 수 있게 해준다. 스펙터 (Spector) 는 거리 및 각도 제어를 모두 유연하게 조정하는 고급 스퍼터 전극 장치를 갖추고 있습니다. 이것 은 연구가 들 에게 "스퍼터 '된 물질 의 총" 에너지' 유동 과 속도 를 광범위 한 "파라미터 '에 걸쳐 조정 할 수 있는 능력 을 준다. 또한, VEECO/DEKTAK Spector의 기판 수준 보호 기계는 공정 중에 예금 된 필름이 손상되지 않도록 보장합니다. VEECO Spector의 주요 기능은 이중 자기장 소스 구성입니다. 이것은 본질적으로, 교대 극성을 가진 2 개의 자석이 스퍼터링 과정을 제어하는 데 사용됨을 의미합니다. 이렇게 하면 매개변수의 범위를 보다 정확하게 제어할 수 있으므로 짝수 (even) 와 반복 (repeatable) 증착이 가능합니다. 또한, 이 도구는 또한 표적 및 기질 표면과의 이온 충돌로 인한 담보 손상을 감소시켜 연구원들이보다 내구성 있는 나노 스케일 (nanoscale) 구조를 만들 수 있습니다. DEKTAK Spector에는 최첨단 챔버 설계 및 제어 자산도 있습니다. 이를 통해 연구자들은 스퍼터링 프로세스 (예: 압력, 온도, 시간) 동안 모든 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, Spector에는 프로세스 효율성을 극대화하기 위해 매개변수를 자동으로 조정할 수있는 기본 (내장) 매개변수 최적화 모델이 있습니다. 따라서 증착 과정에서 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 결론적으로, VEECO/DEKTAK Spector는 이전에 사용할 수없는 기능과 기능을 제공하는 고급 스퍼터링 장비입니다. 이중 자기장 플라즈마 소스, 정밀 제어 매개변수 및 매개변수 최적화 시스템은 연구원들이 증착 과정을 매우 정확하게 제어 할 수 있도록 제공합니다. 이를 통해 연구원들은 매우 높은 성능과 극한의 내구성이 필요한 다양한 응용프로그램을 위해 나노 스케일 (nanoscale) 구조와 컴포넌트를 개발할 수 있습니다.