판매용 중고 VEECO Spector HBDG #9236498

VEECO Spector HBDG는 4 개의 다른 모듈로 구성된 고급 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 결함이 낮은 나노 재료 및 장치를 만들도록 설계된 고성능 스퍼터링 시스템입니다. 4 개의 Spector HBDG 모듈은 다양한 재료와 프로세스를 수용하기 위해 뛰어난 에칭 성능을 제공합니다. VEECO Spector HBDG의 핵심은 고밀도 HD/HT (High-Throughput) 모듈로, 공동 스퍼터링 및 이온 밀링을 모두 사용할 수 있습니다. 이 모듈에는 2 개의 이중 자석 스퍼터링 챔버, 2 개의 고속 전원 공급 장치 및 1 개의 듀얼 빔 이온 소스가 포함되어 있으며, 단일 실행에서 최대 100 개의 레이어로 스퍼터링 된 필름을 사용할 수 있습니다. HD/HT 모듈은 또한 순차적 스퍼터링 (sputtering) 을 허용하며, 이는 복잡한 다중 계층 구조를 하나의 효율적인 프로세스로 배치하는 데 사용될 수 있습니다. 두 번째 모듈은 LV/SP (low-vacuum spectrum) 모듈로, 높은 진공 이중 마그네트론 스퍼터링 챔버를 사용합니다. 이 모듈은 매우 박막 스퍼터링에 최적화되어 있으며, 특히 하프늄 산화물 (hafnium oxides) 및 탄탈륨 질화물 (tantalum nitride) 과 같은 스퍼터링 특수 필름에 유용합니다. 또한 LV/SP 모듈에는 향상된 광학 창이 있어 처리량을 높이고 스퍼터링 (sputtering) 정확도를 높일 수 있습니다. 세 번째 모듈은 LSST (Low Stress Sputtering) 모듈입니다. 이 모듈은 스트레스가 적고 내마모성이 높은 레이어의 증착을 위해 설계되었습니다. 고 에너지 LSST 모듈은 고유 한 이중 스택 대상 장치를 사용하여 총 이온 플럭스를 증가시키고 입자 표면 오염을 줄입니다. 네 번째이자 마지막 모듈은 RTA (Rapid Thermal Annealing) 모듈입니다. 이 모듈은 동시 열 처리 및 스퍼터링 (sputtering) 기능을 통해 총 처리 시간을 대폭 단축하는 2-in-one 프로세스를 제공합니다. RTA 모듈은 고주파 생성기 (high-frequency generator) 를 사용하여 짧은 시간 안에 고온을 달성하며, 특허를 받은 트리플-양극 설계는 레이어 균일성과 접착력을 유지합니다. 요약하면, Spector HBDG는 4 개의 고유 한 모듈을 사용하여 결함이 낮은 나노 재료 및 장치의 효율적인 제작을 가능하게하는 고급적이고 정밀한 스퍼터링 머신입니다. 이 도구는 다중 계층 처리, 낮은 스트레스 스퍼터링, 빠른 열 어닐링 (thermal annealing) 을 통해 재료 특성을 개선하고 처리 시간을 줄일 수 있습니다.