판매용 중고 VEECO Spector HBDG #293645262

VEECO Spector HBDG는 필름 두께, 증착율 및 균일성을 정확하게 제어하는 고품질 박막 (thin film) 을 만들도록 설계된 고출력 스퍼터링 시스템입니다. 이 시스템은 기본 챔버, 대상 챔버, 고전압 전원 공급 장치 및 진공 펌프로 구성됩니다. 기본 챔버는 3 개의 마그네트론 스퍼터링 소스를 장착하기위한 직사각형 모양의 진공 챔버입니다. "스퍼터링 '원 은 고압 전원 공급 장치 에 연결 되어 전압 을 정확 히 제어 할 수 있다. 목표물 은 목표물 에 장착 되는데, 표적 을 저온 으로 유지 할 수 있도록 절연 벽 과 냉각 된 내부 선반 을 포함 하고 있다. 그 "쇼우프 '는" 쇼우프' 를 사용 한다. 두 방의 압력은 챔버를 원하는 압력에 조정할 수있는 2 개의 진공 펌프 (vacuum pump) 에 연결하여 유지됩니다. 스퍼터링 (sputtering) 과정이 시작될 때, 챔버는 저압 (low pressure) 으로 대피하고 온도가 필요한 수준에 도달 할 때까지 목표물이 가열됩니다. 그 다음 에, 그 표적 들 은 강한 전기장 에 노출 되는데, 이것 은 고전압 전원 공급 장치 에 의해 생성 되어, 전자 를 방출 시킨다. 그 전자 가 표적 의 표면 에 이르면, 그 원자 들 은 표적 물질 의 원자 들 을 분출 하게 하여 "이온 '화 된" 플라즈마' 를 형성 한다. 그 다음 에 "플라즈마 '는 고전압 에 노출 되어 기질 을 향해 이동 하는" 이온' 의 광선 을 만들어 낸다. 스퍼터 증착 과정은 분광계 (spectrometers) 및 기타 검출기의 도움으로 신중하게 모니터링됩니다. 이를 통해 프로세스를 조정하여 박막 (thin film) 의 품질을 최적화하고 두께의 균일성을 향상시킬 수 있습니다. Spector HBDG는 고품질 및 균일 한 박막을 만드는 데 이상적입니다. 태양 전지, 박막 트랜지스터, MEMS 장치, 디스플레이 기술 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다.