판매용 중고 VEECO / SLOAN Spector #9205193

VEECO/SLOAN Spector는 스퍼터링 장비로, 박막 레이어를 기판 표면에 배치하는 데 사용되는 PVD (physical vapor deposition) 기술의 한 유형입니다. 그것은 두 가지 주요 구성 요소, 진공실과 스퍼터링 건으로 구성됩니다. 진공실은 밀봉 된 격리 된 공간입니다. 그것 은 원자 와 분자 들 이 자유 로이 움직 이고 증기 "스테이지 '를 형성 할 수 있도록" 챔버' 내부 의 압력 을 감소 시키도록 설계 되었다. 증착할 물질에 따라, 진공의 다른 구성 요소를 최적화 할 수있다. 스퍼터링 건은 표적으로 구성되며, 이는 증착 될 재료, 원자 소스, 전원 공급 장치, 실드 및 가스 인젝터 (gas injector) 입니다. 대상은 일반적으로 구리 (copper) 나 알루미늄 (aluminum) 과 같이 스퍼터링 될 물질에서 만들어지며, 원자 소스는 일반적으로 스퍼터링을 촉진하기 위해 아르곤 (argon) 이나 제논 (xenon) 과 같은 가스입니다. "가스 '가 목표물 을 향해 이온화 되고 가속화 되도록 전기 전류 가 원자 의 근원 을 통하여 보내진다. 방패는 시스템의 다른 구성 요소 (예: 기판) 를 이온의 직접 폭격으로부터 보호합니다. "가스 '" 인젝터' 는 질소 와 같은 부가적 인 "가스 '를 장치 에 공급 하고, 표적 이 과열 되는 것 을 막는 데 도움 이 된다. 표적 이 높은 "에너지 '를 받으면, 물질 의 원자 들 이 그 표면 에서 제거 된다. 그런 다음, 이 원자 들 은 기판 의 표면 을 향해 추진 되며, 거기 에서 그 원자 들 은 침착 하여 원하는 물질 층 을 형성 한다. 그렇다. 스퍼터링 건 (sputtering gun) 의 힘, 가스의 압력 (pressure of the gas) 및 공정 지속 시간 (duration of process) 을 변경하여 퇴적막 두께를 조정할 수 있습니다. VEECO Spector 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 반도체, 금속, 유전체 및 절연체와 같은 광범위한 재료의 고정밀 제작을 달성하는 데 사용됩니다. 증착률이 높고 정확성이 높아 광전자 (optoelectronic), 광전자 (photovoltaic) 및 반도체 (semiconductor) 응용 분야에 널리 사용될 수 있으며, 마이크로 및 나노 가공의 핵심 구성 요소이며 다중 레이어 박막 장치의 생산입니다.