판매용 중고 VEECO / IONTECH RF2051 #293798833

ID: 293798833
DC Biases.
VEECO/IONTECH RF2051은 다양한 반도체 및 연구 응용 분야에서 박막 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 시스템은 혁신적인 기술과 정밀 제어 (precision control) 를 결합하여 안정적이고 반복 가능한 박막 코팅과 뛰어난 균일성, 품질을 제공합니다. VEECO RF2051은 DC 마그네트론 스퍼터링, RF 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등 다양한 스퍼터링 프로세스를 지원하는 강력하고 다양한 디자인을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 강력한 RF 전원 공급 장치와 내장형 임피던스 매칭 네트워크 (impedance matching network) 가 장착되어 있어 증착 과정에서 최적의 플라즈마 생성 및 안정성을 보장합니다. 이를 통해 기계는 넓은 기판 영역에 걸쳐 높은 증착률과 균일 한 필름 두께를 달성 할 수 있습니다. IONTECH RF 2051의 주요 기능 중 하나는 고급 프로세스 제어 기능입니다. 이 도구에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (User-Friendly Interface) 가 장착되어 있어 운영자가 실시간으로 배치 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 자산은 또한 레시피 관리 (recipe management) 및 현장 모니터링 (in-situ monitor) 과 같은 고급 자동화 기능을 제공하여 일관된 필름 품질과 재생성을 보장합니다. RF 2051 스퍼터링 (Sputtering) 모델은 고품질 재료와 컴포넌트로 제작되어 장기적인 안정성과 성능을 보장합니다. 장비의 챔버 (chamber) 는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 오염을 최소화하고 깨끗한 처리 조건을 보장하기위한 듀얼 레이어 설계가 특징입니다. 이 시스템은 또한 고급 진공 펌핑 시스템 (vacuum pumping system) 과 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 을 갖추고 있어 순도 높은 프로세스 환경을 유지하고 저기압 수준을 달성합니다. 기판 처리 측면에서 볼 때, RF2051 은 다양한 기판 크기와 모양을 수용할 수 있는 유연한 구성 (flexible configuration) 을 제공합니다. 이 장치에는 균일 한 온도 분배를 보장하고 필름 접착력을 개선하기 위해 멀티 존 (multi-zone) 기판 히터 및 회전 기계가 장착되어 있습니다. 이 도구는 또한 영화 균일성 및 커버리지를 최적화하기 위해 행성 회전 (planetary rotation) 및 기울기 조정 (tilt adjustment) 을 포함한 다양한 기판 홀더 옵션을 갖추고 있습니다. VEECO RF 2051은 반도체 제조 및 연구 응용 프로그램의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 자산은 금속, 산화물 (oxide), 질화물 (nitride) 을 포함한 다양한 물질과 호환되므로 다양한 박막 증착 프로세스에 이상적입니다. 생산 환경 또는 연구 실험실에서 IONTECH RF2051 스퍼터링 모델은 뛰어난 접착, 밀도, 광학 특성을 갖춘 고성능 코팅을 제공합니다. 전반적으로 VEECO/IONTECH RF 2051 스퍼터링 장비는 다양한 응용 프로그램에 고품질 박막 (Thin Film) 을 배치하는 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 고급 기술, 정확한 제어 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 VEECO/IONTECH RF2051 (VEECO/IONTECH RF2051) 을 통해 연구원과 제조업체는 다양한 박막 증착 프로세스에 대해 일관되고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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