판매용 중고 VEECO IBS-2 #9220228

VEECO IBS-2는 VEECO에서 제조 한 혁신적인 스퍼터링 장비입니다. IBS-2는 펄스 DC (pulsed dc) 및 동적 스퍼터링 (dynamic sputtering) 기술을 사용하여 다양한 응용 프로그램을 위해 금속 또는 절연체의 초박막 (ultra-thin film) 을 기판 웨이퍼 또는 물체에 배치합니다. VEECO IBS-2 시스템은 최대 6 "크기의 기질에 이상적이며, 스퍼터링되는 합금 또는 화합물에 따라 정확하고 반복 가능한 필름 두께를 증착 할 수 있습니다. 즉, 고객이 인터페이스 계층을 완벽하게 제어할 수 있게 해 주며, 요구 사항이 변화함에 따라 두께를 필름 (film) 으로 조정할 수 있습니다. 장치 의 집적 "펄스 '동력 장치 에 의해 생성 되는 자기장 은" 스퍼터링' 과정 을 크게 향상 시킨다. 이 기계는 또한 정확한 진공 압력, 플라즈마 소스, 강력한 탄화수소 기반 플라즈마 발전기, 기판 단계 (기판 단계) 를 유지하기 위해 중앙 진공실을 통합하여 다양한 유형의 기질을 수용할 수 있습니다. IBS-2는 우수한 에치 프로파일 제어를 제공하여 정확한 포토레지스트 패턴을 만들 수 있습니다. 플라즈마 소스는 다음을 포함하여 다양한 가스 혼합물을 수용 할 수 있습니다. 아르곤 (Argon), 질소 (Nitrogen), 산소 (Oxygen) 등은 각각 스퍼터 속도, 필름 접착 및 저항성을 최적화하는 데 사용될 수 있습니다. 탄화수소 기반 플라즈마 발전기 (plasma generator) 는 스퍼터 필름의 특성을 최적화하고 기질과의 호환성을 향상시키기 위해 조정 될 수있다. 또한 VEECO IBS-2 (VEECO IBS-2) 는 센서 기술을 사용하여 일생 동안 공구가 주요 상태로 유지되도록 도와줍니다. 또한 원격 작업 (remote operation) 과 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 의 편리성을 제공하여 설정 및 구성을 지원합니다. 요약하면, IBS-2는 초박막 (ultra-thin film) 을 기판에 증착시킬 수있는 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 에셋 (sputtering asset) 으로, 전통적인 스퍼터링 기술로는 달성하기 어려운 정확성과 제어 수준을 갖습니다. 이 제품은 다양한 애플리케이션에 필요한 최고 품질의 생산량을 찾는 기업을 위한 완벽한 솔루션입니다 (영문).