판매용 중고 VEECO CVC #9307857

VEECO CVC는 대형 기판에서 박막 증착에 사용되는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 유형의 시스템은 반도체, 박막 광학, 의료 기기와 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 이 장치는 VEECO 고급 증착 및 챔버 설계 개념을 기반으로합니다. CVC는 3 가지 주요 구성 요소, 스퍼터링 소스, 챔버 및 전자 장치로 구성됩니다. 스퍼터링 소스는 기질에 고밀도의 에너지 이온 (이온) 플럭스 (이온) 를 제공하는 것으로, 대상 물질을 증발시키기 위해 가열된다. 이것은 기판 표면에 얇은 필름을 만듭니다. 소스는 DC 또는 펄스 스퍼터링에 대해 구성 할 수 있습니다. 약실은 기계의 제어 센터입니다. 방에는 기판뿐만 아니라 소스, 전원 공급 장치 및 진공 펌프가 있습니다. 이 약실 에는 또한 서로 연결 되거나 격리 될 수 있는 두 개 의 "이온 플럭스 '" 이온 플럭스' 의 다른 형태 의 증착 "플럭스 '를 허용 할 수 있는" 챔버' 가 있다. 전자 장치는 도구를 프로그래밍 및 모니터링 할 수있는 것입니다. 전자 장치는 또한 가스 흐름, 압력 및 기타 매개 변수를 제어합니다. 데이터 획득 및 제어 소프트웨어는 매개변수 설정, 자산 성능 모니터링, 모델 설정 제어 등에 사용됩니다. VEECO CVC는 넓은 지역에서 놀라운 정확성과 균일 한 영화를 제작할 수 있습니다. 이 장비에는 스퍼터링 공정의 정확한 제어를 위해 통합 된 가스 흐름 컨트롤러가 있습니다. 전자 제품은 스퍼터 속도와 공정 가스 흐름을 철저하게 제어 할 수 있습니다. 2 챔버 시스템은 대상 재료의 높은 두께 균일성과 선택성을 허용합니다. CVC는 박막을 퇴적시키는 강력한 도구입니다. 다재다능성 (Versicility) 과 견고한 기능으로, 정확성과 균일성이 필요한 다양한 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다. 고급 챔버 디자인, 통합 전자 제품 및 신뢰할 수있는 스퍼터링 소스를 갖춘 VEECO CVC는 안정적이고 유능한 스퍼터링 장치입니다.