판매용 중고 VEECO / CVC CX 6 #9139680

VEECO/CVC CX 6은 반도체 및 전자 부품을 코팅하도록 설계된 PVD (Physical Vapor Deposition) 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 다각형 스캔 장치 (polygon scanning unit) 를 사용하여 대상 재료에 균일한 박막 (thin film) 을 빠르고 정확하게 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 큰 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 로 구성되어 있으며, 300mm 드리프트 튜브에 연결되어 DC 또는 RF로 구동되어 안정적이고 일관된 스퍼터 증착이 가능합니다. 이 도구는 동력 조절 가능한 로드 록을 사용하여 빠르고 효율적인 진공 전 처리 (pre-vacuum processing) 를 통해 생산 전에 증착실에서 수분 및 기타 불순물을 제거 할 수 있습니다. 또한 CVC CX 6에는 교환 가능한 목표 포지셔너 (target positioner) 가 있어 다양한 유형의 스퍼터링 작업을 수용하기 위해 대상 재료를 신속하게 전환할 수 있습니다. 또한 RF 전원, 목표 각도, 스퍼터 속도 (Sputter Rate) 와 같은 스퍼터 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있는 직관적인 제어판 (Control Panel) 을 통해 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델에는 표면 장착 가능 내장 온도 컨트롤러 (옵션) 가 장착되어 있어 강착 챔버에서 온도 조절이 가능합니다. "컨트롤러 '가 온도 를 정확 하게 조절 하여 보다 균질 한" 스퍼터' 층 을 만들 수 있다. 또한 VEECO CX 6 장비에는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 외부 액세스와 자가 잠금 챔버 도어 (self-locking chamber door) 에 대한 보호 스틸 프레임 가드 (protective steel frame guard) 를 사용하면 스퍼터 프로세스 전반에 걸쳐 안전한 환경을 유지할 수 있습니다. 또한 CX 6 에는 주요 연동 시스템 (Interlock System) 이 있어 공인 인력만 장치에 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 VEECO/CVC CX 6은 신뢰할 수 있고, 사용자 친화적 인 스퍼터 코팅 머신으로, 다양한 소재에서 균일하고 고품질의 박막 (thin film) 을 제작할 수 있습니다. 효율적이고 정확한 다각형 스캐닝 도구, 조절 가능한 하중 잠금 (loadlock) 및 온도 컨트롤러로 CVC CX 6은 반도체 및 전자 부품 코팅에 이상적인 선택입니다.