판매용 중고 VEECO (2) Doors for Spector #9229856

VEECO (2) Doors for Spector는 얇은 재료 층으로 다양한 표면을 코팅하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 주로 금속, 유전체 및 기타 화합물 (예: 다양한 물질) 을 다양한 기질에 강착시키는 데 사용됩니다. 이 시스템은 매우 정밀하고 뛰어난 레이어 품질을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 공정 챔버와 고주파 RF는 정전식 결합 전원 공급 장치입니다. 공정 챔버에는 3 개의 내부 "문" 이 있으며, 하나는 하단에, 하나는 중앙에, 하나는 상단에 있습니다. 이 문은 기판 로드 및 언로드, 진공 프로세스 챔버의 대기 조작, 준비 미디어 변경, 증착 부품 로드/언로드 등에 사용됩니다. 하단의 문은 샘플 기판 (sample substrate) 의 도입에 사용되며 전송 로봇 (transfer robot) 이 중앙 도어로 전달됩니다. 중앙 도어는 사전 증착 (pre-deposition) 프로세스에, 상단 도어는 증착 부품을 도입하는 데 사용됩니다. 고주파 RF 용량 결합 전원 공급 장치는 스퍼터링 프로세스를 활성화합니다. 전력수준을 제어하는 데 사용할 수 있고, 고출력 (high power) 을 만들어 원하는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 달성할 수 있다. 이 기계 는 또한 증착 과정 중 에 미세 한 조정 을 할 수 있게 하여, 그 결과 "기판 '의 질 을 보장 해 준다. VEECO (2) Doors for Spector 도구는 다양하고 효율적인 스퍼터링 자산으로, 다양한 기판에서 재료를 정확하게 코팅합니다. 이것 은 금속, 유전체, 기타 여러 가지 화합물 을 포함 하여 원하는 성분 의 얇은 강착 층 (thin deposition layer) 을 만드는 데 이상적 이다. 스퍼터링 프로세스의 매개변수를 쉽게 구성할 수 있는 소프트웨어 (Software) 애플리케이션에 의해 모델이 제어됩니다. 또한, 3 개의 내부 도어를 사용하면 전체 장비를 재구성 할 필요없이 기판 또는 증착 재료를 빠르고 쉽게 변경 할 수 있습니다.