판매용 중고 VCR GROUP TM200S #9377152

VCR GROUP TM200S 스퍼터링 장비는 반도체 증착을 위해 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공하기 위해 설계된 최첨단 진공 증착 도구입니다. 이 스퍼터링 시스템은 고급 터보 분자 펌핑 장치, 다면화 이온 빔 건 및 고압 공정 챔버 (high-pressure process chamber) 로 구성됩니다. TM200S는 다중 기술 기계이며 마그네트론 (magnetron) 또는 이온 빔 스퍼터링 (ion beam sputtering) 에 사용될 수 있습니다. VCR GROUP TM200S 스퍼터링 도구의 고압 공정 챔버 (high-pressure process chamber) 에는 부품 마운팅을위한 2 개의 지원 포스트와 스퍼터 증착 또는 이온 건 프로세스에 사용할 수있는 노즐이 장착되어 있습니다. 챔버에는 2 개의 스테인리스 스틸 그리드 (표적용 1 개, 기판 홀더 용 1 개) 가 장착되어 있습니다. 이것은 오염을 예방하면서 부드럽고 일관된 증착을 허용합니다. 약실 내부 의 "가스 '분배기 는" 가스' 를 약실 전체 에 균등 하게 분배 하여 최적 의 분사 과정 을 수행 하도록 돕는다. 주요 공정 챔버 외에도 TM200S 자산에는 다면적 이온 빔 건이 제공됩니다. 이 이온 총은 높이 조절 가능한 2 피스 양극과 음극 챔버로 구성됩니다. 조정 가능한 높이를 사용하면 공격 각도 (angle of attack) 와 이온 빔 (ion beam) 의 강도가 달라질 수 있습니다. 이렇게 하면 최종 레이어의 두께 (thickness) 와 구성 (composition) 을 정확하게 수정할 수 있습니다. 스퍼터 증착 과정은 이온 빔 건 (ion beam gun) 과 동일한 챔버에서 발생하며 터보 분자 펌핑 모델에 의해 구동됩니다. 펌핑 장비는 최대 10 ~ 9 토르 (Torr) 의 진공을 생성하기에 충분히 강력하며 정확한 필름 증착을 위해 최적화 된 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 시스템은 또한 스퍼터 프로세스 (sputter process) 에 필요한 정확한 전력 및 압력 수준을 제공하는 디지털 컨트롤러 (digital controller) 를 갖추고 있습니다. VCR GROUP TM200S는 정확하고 안정적인 필름 증착 기능을 갖춘 최첨단 스퍼터링 장치입니다. 고속 펌핑 머신 (fast pumping machine), 조절식 이온 빔 건 (adjustable ion beam gun), 디지털 컨트롤러 (digital controller) 를 포함한 고급 기능을 통해 생산 공정을 완벽하게 제어하고 최고 품질의 제품을 생산할 수 있습니다.