판매용 중고 VARIAN XM-2000 #13670
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ID: 13670
빈티지: 2002
PVD System
(4) Target positions
Cryo pumped main chamber
Turbo pumped load locks
Cassette to cassette
Operating system: Windows
2002 vintage.
바리안 XM-2000 (VARIAN XM-2000) 은 고성능 스퍼터링 (Sputtering) 장비로, 사용자에게 제품에서 최고의 성능을 달성하기 위해 필요한 균일 한 증착을 제공하도록 설계되었습니다. VARIAN XM 2000 (VARIAN XM 2000) 은 안정성, 견고성, 안정성이 뛰어난 플랫폼으로, 실험실과 생산 환경 모두에서 일관된 스퍼터링 결과를 제공하므로 안정성과 성능을 위한 완벽한 선택입니다. 이 시스템은 최신 PVD 공정 챔버 설계 (PVD Process Chamber Design) 와 고급 스퍼터 소스 (Advanced Sputter Source) 를 포함한 최신 기술을 조합하여 재료의 물리적, 화학적 특성을 최적화하여 사용자 성능을 최적화합니다. XM-2000 장치는 박막 증착에 대한 가장 높은 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 핵심에서, 기계 자체에는 이중 동작, 마그네트론 스퍼터링 도구가 장착되어 있습니다. 이 스퍼터링 에셋은 멀티 레이어 예금, 저압 PVD (LPPD) 및 대규모 지역 코팅을 포함한 다양한 복잡한 증착 프로세스를 허용합니다. 또한 고급 스퍼터 소스에는 높은 전력 밀도, 높은 처리량, 저비용 (low-cost) 작동을 제공할 수 있습니다. 이 모델은 또한 조정 가능한 스퍼터 파라미터 (sputter parameter) 를 제공하여 사용자가 증착률, 스퍼터 압력, 기판 온도를 쉽게 조정하여 증착 과정을 최종적으로 제어 할 수 있습니다. XM 2000에는 고효율 진공 장비 (고성능 황삭 펌프, 기계식 펌프, 터보 펌프, 오일 확산 펌프) 가 포함되어 있습니다. 이 멀티 진공 시스템 (Multi-Vacuum System) 은 고품질의 박막 제작에 필수적인 깨끗하고 효율적인 작업 환경을 제공합니다. 이 장치에는 챔버 압력, 온도, 누수 감지 (leak detection), 스퍼터 매개변수 (sputter parameters) 를 기록하는 데이터 로깅 머신 (data logging machine) 등 다양한 고급 모니터링 기능이 장착되어 있습니다. 모니터링되는 챔버 (chamber) 조건을 통해 사용자는 결과를 정확하게 모니터링하고 측정하여 증착 과정에 대한 정보를 얻을 수 있습니다. VARIAN XM-2000 스퍼터링 도구는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 통해 사용하기 쉽습니다. 따라서 스퍼터링 (sputtering) 자산을 빠르고 쉽게 설정하고 최적화할 수 있으며, 다양한 자동 (automated) 유틸리티로 인해 발생할 수 있는 모든 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 연산자와 시스템 자체를 보호하기 위해 접지 및 인터 록 (interlock), 긴급 전원 끄기 (EPO) 장비 (Emergency Power Off) 를 포함한 자동 안전 기능을 제공합니다. 이러한 모든 기능을 통해 VARIAN XM 2000은 균일하고 고성능 박막 제작에 이상적인 스퍼터링 장치입니다.
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