판매용 중고 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MBB #293600880

TEL (VARIAN/VARTOKYO ELECTRON) VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB (Magnetron Sputter Deposition Equipment) 는 유리, 금속 및 플라스틱과 같은 다양한 기판에 얇은 필름을 배치하는 데 사용되는 고성능 컴퓨터 제어 스퍼터 증착 시스템입니다. 이 장치는 금속, 반도체 및 기타 재료를 가장 정확하게 배치하도록 설계되었습니다. 기계는 전자기 가속 스퍼터링 소스 (electromagnetically-accelerated sputtering source), 진공 챔버 (vacuum chamber) 및 제어 콘솔로 구성됩니다. 스퍼터링 소스는 특수 마그네트론 (magnetron) 디자인을 가지고 있으며, 이는 코팅 증착률을 균일하게 보장하고 반도체 칩셋의 균일 성 요구 사항을 충족시킵니다. 또한, 스퍼터링 소스는 가장 높은 정확도로 금속, 반도체 및 기타 물질을 침전하도록 설계되었습니다. 이 도구에는 완벽한 코팅 범위를 가능하게하기위한 단일 헤드 폐쇄 루프 디자인도 있습니다. 진공 챔버 (Vacuum chamber) 에는 온도 조절 자산이 장착되어 프로세스 온도가 안정적이고 균일하며, 더 나은 프로세스 제어 및 개선 된 기판 준비를 제공합니다. 이 모델에는 스퍼터링 가스 (sputtering gas) 의 최적 공급을 제공하는 가스 흐름 제어 장비 (gas flow control equipment) 와 부식성 가스를 제거하기위한 가스 정화 시스템 (gas purification system) 이 포함되어 있습니다. 제어 콘솔 (Control Console) 은 대화형이 뛰어나 스퍼터링 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 연산자는 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 압력, 코팅 재료, 대상 온도, 전원, 스퍼터 (sputter) 와 같은 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON/VARTEL MBB 스퍼터 증착기는 생산 및 연구 환경 모두에서 작동하도록 설계되었습니다. 첨단 기능은 R&D 애플리케이션의 섬세한 유리 기판에서 산업용 대규모 기판에 이르기까지 모든 기판에 박막 (thin film) 을 증착시키는 데 이상적입니다. 독특한 마그네트론 (magnetron) 디자인은 균일 한 증착 속도를 보장하며, 뛰어난 커버리지를 제공하고 일관된 금속 필름을 보장합니다. 또한, 온도 조절 도구는 반복 가능하고, 정확하며, 안정적인 증착 과정을 보장합니다. 손쉬운 작동과 일관된 성능으로, 자산은 박막 증착에 이상적인 선택입니다.