판매용 중고 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MBB 830 #9294765

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB 830 Sputter Equipment는 박막 공정을위한 다목적 최첨단 증착 시스템입니다. 이 장치는 직류 (DC) 와 무선 주파수 (RF) 전원을 조합하여 재료를 빠르고 효과적으로 스퍼터링합니다. 이 기계는 다양한 응용 분야에 금속, 합금, 유전체 및 반도체 화합물을 배치 할 수 있습니다. 여기에는 DC Planar Magnetron 스퍼터 소스, 4 개의 독립적 인 RF Plus Planar Magnetron 소스 및 3 개의 목표 벽 또는 회전 드럼 유형 Pelletron 소스가 포함됩니다. DC 평면 마그네트론 (Planar Magnetron) 소스는 낮은 기판 온도에서 금속이나 유전체를 스퍼터팅 할 수있는 능력을 제공하는 반면, RF 소스는 반응성 스퍼터링의 열 안정성과 화합물을 스퍼터 할 수있는 능력을 제공합니다. 펠레 트론 소스 (Pelletron Source) 는 내화성 금속 또는 스퍼터 물질에 더 어렵게 사용될 수 있습니다. 이 도구에는 균일 한 필름 증착을 보장하기 위해 다양한 다른 구성 요소가 포함되어 있습니다. 진공 챔버 주위에 기판을 이동시키는 하단 장착 스캐닝 메커니즘이 있습니다. 기판 단계에는 고급 제어 에셋 (Advanced Control Asset) 또는 다방향 기계식 스캐닝 (Multi-Directional Mechanical Scanning) 이 장착되어 있어 운영자에게 더 많은 제어 및 유연성을 제공합니다. 진공 모델에는 공정 챔버, 게이트 밸브, 기계식 펌핑 장비 및 터보 펌프 (turbo pump) 가 포함되어 있어 최고 품질의 필름을 위해 연속적으로 1 x 10-8 Torr의 진공 수준을 유지합니다. 이 시스템에는 오염을 최소화하기 위해 기판 처리를위한 스테인리스 스틸 글러브 박스 (stainless steel glove box) 도 포함되어 있습니다. 이 스퍼터링 장치는 고급 프로그래밍 가능한 터치 스크린 컨트롤러 (touch-screen controller) 에 의해 관리되며, 이를 통해 운영자는 모든 배치 매개변수에 편리하게 액세스할 수 있습니다. 또한 사용자는 매개변수를 특정 코팅 응용 프로그램으로 개인화할 수 있습니다. TEL MBB 830은 얇은 필름을 지속적으로 효율적으로 증착하도록 설계되었습니다. 기계의 가변 전원 설정은 최적의 증착률과 균일성을 위해 조정할 수 있습니다. 한 기판에서 다른 기판으로 조정하기 위해 소스를 쉽게 전환 할 수도 있습니다. 또한, 이 도구는 작은 설치 공간과 함께 제공되며, 제한된 실험실 공간에 적합한 선택입니다. 이 자산은 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 고성능 스퍼터링 기능을 제공합니다.