판매용 중고 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MBB 830 #9274344

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB 830은 다양한 반도체, 의료 및 산업 응용 분야에 사용하도록 설계된 정교한 스퍼터링 장비입니다. 기판에 다양한 박막 (thin film) 을 배치하는 안정적이고 효율적인 방법을 제공합니다. 스퍼터링 시스템은 통합 된 구성 요소가있는 이중 챔버 진공 인클로저로 구성되며, 평면 패널 디스플레이, 광학 장치, 자기 재료, 반도체 메모리 칩 및 박막 트랜지스터 (TFT) 를 포함한 구성 요소에 다양한 필름을 정확하게 증착 할 수있는 제어 환경을 제공합니다. 텔 MBB 830 (TEL MBB 830) 에는 넓은 지역에 비해 높은 증착율을 제공하고 최소한의 열 부하를 생성하는 저에너지 이온 소스가 포함되어 있습니다. 이 장치는 저압 플라즈마 소스 (low-pressure plasma source) 를 제공하여 운영 비용을 낮추고 넓은 지역에 비해 균일성을 높입니다. 정확하게 제어 된 "직접 쓰기 (direct write)" 전자 빔 건 머신은 넓은 지역에 걸쳐 필름 두께의 뛰어난 균일성을 보장하도록 설계되었습니다. VARIAN MBB 830은 또한 호스트 PC 및 원격 제어 소프트웨어와 함께 맞춤형 컴퓨터 도구를 사용하여 증착 프로세스를 유연하게 제어합니다. 이 자산은 반응성 가스와 비활성 가스를 모두 갖춘 RF 마그네트론 스퍼터 기반 기술을 통해 산화물, 질화물, 탄화물, 규산, 합금 등 다양한 물질을 증착 할 수 있습니다. 이 스퍼터 기반 증착 방법 (sputter-based deposition method) 은 기판 재료의 안정성을 유지하고 다양한 모양과 크기로 매우 높은 순도 필름 레이어를 달성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MBB 830은 볼륨 생산 실행에 사용하도록 설계되었으며, 반복 가능한 고품질 프로세스 결과를 제공합니다. 또한 거의 모든 크기의 기판에 대해 높은 처리량 (최대 450 x 400mm) 과 정밀한 다층 필름 증착을 위해 우수한 회전 및 기울기 축 동작 소스를 제공 할 수 있습니다. MBB 830에는 인라인 분광사진기, 온도 제어 로봇 샘플 픽업 모델, 전자 빔 건 스팟 모니터, 사내 광학 도량형 장비 및 스루 렌즈 비디오 현미경과 같은 광범위한 프로세스 모니터링 솔루션이 포함됩니다.. 이 솔루션을 통해 사용자는 박막 (Thin Film) 결과를 매우 효과적으로 제어할 수 있으며, 시간이 지남에 따라 품질 (Quality) 을 유지할 수 있습니다. VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB 830은 고정밀도, 신뢰성 있는 박막 증착 기능, 뛰어난 품질 보증 및 프로세스 제어를 제공하여 까다로운 증착 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.