판매용 중고 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-830 #67592

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830은 박막 연구 및 제작 응용 분야를 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 다용도 시스템은 대형과 소형 부품 모두를 위해 설계되었습니다. 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 을 사용하여 다른 증착 방법보다 증착률, 효율성 및 박막 균일성을 높입니다. TEL의 MB 플랫폼을 기반으로하며 높은 열 보호, 긴 수명, 빠른 이직률 (turnover time) 을 제공합니다. TEL MB2-830 은 사용자 애플리케이션에 가장 적합한 스퍼터링 (sputtering) 장치를 만드는 광범위한 구성 가능한 구성 요소 모음을 제공합니다. 이러한 구성 요소에는 기판 및 감수기, 마그네트론 위치 어셈블리, 평면 코일 및 비활성 가스 대기가 포함됩니다. 부품은 다양한 크기와 모양으로 이루어져 있어 큰 부품의 스퍼터링 (sputtering) 을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 기계는 전원 공급 장치 및 컨트롤러를 통해 실행되며, 진동 주파수 (1 ~ 50kHz) 와 구성 가능한 스퍼터 가스 흐름 기능을 사용합니다. 전력 수준은 20 ~ 500 W 사이에서 조정 가능합니다. 냉각 조리개는 밀폐되어 스퍼터링 작업 중 오염이 발생하지 않습니다. 균일 한 박막 증착을 위해 VARIAN MB2-830은 다중 공간 균일 모니터링 도구를 갖추고 있습니다. 이 자산은 위치 센서 및 포토셀 검출기를 사용하여 정확한 균일 성을 측정합니다. 또한 큰 샘플을 회전시킬 수있는 가로 스캔 기능이 있으며, 이는 더 큰 통일성 (unifority) 분야를 가능하게 합니다. MB2-830은 하위 저압, 저압, 중압에서 고압까지 다양한 진공 모드로 작동 할 수 있습니다. 작동 온도는 난방 기능으로 실온에서 800 ° C까지 다양합니다. 또한 모델은 Class I 또는 Class II 환경 요구 사항을 준수합니다. 최적의 사이클링 성능을 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON MB2-830에는 고급 인라인 클리닝 시스템과 Intelligent Gas Monitoring Equipment가 장착되어 있습니다. 이러한 시스템은 구성 요소를 지속적으로, 안전하게, 일관되게 청소하고, 정확한 가스 모니터링 수준을 제공합니다. 전반적으로 강력하고 다재다능한 VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830 스퍼터링 시스템은 편리하고 안정적이며 효율적인 스퍼터링 작동 수단을 제공합니다. 광범위한 구성 가능한 구성 요소와 다양한 고급 (advanced) 기능을 제공하여 최고 품질의 박막 증착을 보장합니다. 또한, 이는 가장 안전하고 적용 가능한 산업 규정을 준수하도록 보장합니다.