판매용 중고 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-830 #293595641
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VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830은 고급 박막 장치 연구 및 처리에 사용하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 박막 레이어의 효율적인 생산과 광범위한 재료 호환성을 위해 직접 음극 스퍼터링 (direct-cathode sputtering) 구성을 갖추고 있습니다. TEL MB2-830은 낮은 자기장 목표 구성과 고급 평면 마그네트론 스퍼터링 프로세스를 특징으로합니다. 이 장치는 다양한 기판에 박막 레이어 (thin film layer) 를 만드는 데 사용될 수 있으며, 효율적인 스퍼터링 프로세스를 통해 고품질 필름 증착과 균질성을 제공합니다. 이 기계에는 강력하고 다양한 이온 소스와 정교한 이온 빔 모니터링 (ion beam monitoring) 및 도량형 제어 기능이 장착되어 있습니다. 가변 주파수 (Variable-Frequency) 전원 공급 장치는 원하는 대상 재료와 코팅 (Coating) 요구 사항에 맞게 조정할 수 있으므로 박막을 배치할 때 필요한 유연성을 제공합니다. VARIAN MB2-830은 또한 안정적인 온도 작동과 뛰어난 필름 균일성 및 접착을 보장하는 고급 냉각 솔루션을 가지고 있습니다. DC 기반 스퍼터 프로세스는 박막 결함을 일으킬 수있는 이온 "딥" 침식을 제거합니다. 이 도구는 실리콘 (silicon) 에서 유리 (glass) 까지 다양한 기판 유형과 호환되며 나노 미터 수준의 필름 증착을 생성하는 데 사용될 수 있습니다. MB2-830에는 고성능 RF 기반 제어 자산이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 박막 증착이 안정되며, 프로세스 제어가 향상되고 모델 처리량이 뛰어납니다. 이 장비는 또한 내장형 난방 장치 (integrated heating unit) 를 사용하여 고품질 박막 증착에 필요한 기판 온도를 생성합니다. 이 시스템에는 편리한 사용자 인터페이스 및 작동을 위한 컬러 LCD 모니터가 있습니다. TOKYO ELECTRON MB2-830은 수많은 진공 펌프와 호환되므로 최적의 작동 조건을 제공합니다. 또한 원격 액세스 (Remote Access) 기능을 통해 사용자가 모든 위치에서 스퍼터링 프로세스를 제어할 수 있습니다. VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830은 다양한 기판에서 박막 층의 효율적이고 균일 한 증착을 보장하도록 설계된 고급 스퍼터링 머신입니다. 직접 음극 스퍼터링 구성과 수많은 플라즈마 모니터링, 계량, 제어 기능을 통해 뛰어난 동질성을 지닌 고품질의 박막 증착을 보장합니다. 이 도구는 박막 연구 및 고급 증착 처리에 이상적입니다.
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