판매용 중고 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9100777
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ID: 9100777
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
WSIX CVD System, 8"
(3) Chamber (L/R/C) System
DCS-WSIX Process specification
(2) Chambers
(2) Loadlocks
(2) Cassettes
(2) MKS Baratron
Water pressure: 5 kg fc m2
Water flow: 33 litre / min
Water temperature: 15-25° C
General exhaust volume: 3.2 m3 / min
With touch panel display
Monitor
Keyboard
Mouse
Turbo pump and dry pump
Gas: WF6 5 SCCM, DCS 500 SCCM, (2) Ar 200 SCCM, Ar 100 SCCM, ClF3 500 SCCM
Power supply: AC 208 V, 150 Hz, 3 Phase, 100 kVA
1997 vintage.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730은 박막 및 코팅의 신뢰할 수있는 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 조정, 편리한 데이터 획득, 레시피 개발을 용이하게 하는 통합 OP (Operating Panel) 를 사용합니다. TEL MB2-730은 독특한 Magnetron-Quad 구성을 특징으로하며, 이 장치를 사용하여 단일 소스에서 4 개의 스퍼터링 호를 생성하여 빠르고 효율적인 박막 증착을 가능하게합니다. 각 "스퍼터링 아아크 '는 다른 재료 를 배치 하는 데 사용 되며, 기계 는 한 번 에 여러 층 의" 스퍼터링' 을 수행 할 수 있다. 전자기 "코일 '을 정확 하게 조정 하여 정밀 한 정도 의 적용 된" 이온화' 를 조절 할 수 있다. VARIAN MB2-730의 챔버는 공기 제거 및 장치 냉각 기술로 해석적으로 밀봉됩니다. 이 로 말미암아 오염 "레벨 '이 최소한 으로 유지 되고, 증착 중 에 저기질 온도 를 유지 할 수 있게 된다. 그 결과, 우리 가 이 도구 로 제작 한 박막 의 질 은 매우 높다. TOKYO ELECTRON MB2-730 내부의 소스에는 마그네트론 스퍼터링 소스, 이온 소스 및 전자 건 소스가 포함됩니다. 모든 "소오스 '는 쉽게 접근 할 수 있도록 회전 할 수 있는" 스테이지' 에 장착 되며, 각 "소오스 '는" 필름' 증착율 을 정확 히 제어 하기 위한 조정 가능 한 전력 수준 을 가지고 있다. 또한, MB2-730에는 챔버에 실리카 염이 있음을 감지 할 수있는 석영 모니터가 장착되어 있습니다. VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730에는 장비와 사용자를 보호하기 위해 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 비상 STOP 스위치와 가스 격리 자산, RF 차폐 및 물 순환 열 교환기가 있습니다. 이 모델에는 긴급 사태 발생 시 시스템을 종료하는 "인터록 (interlock) '장비도 장착돼 있다. 전반적으로 TEL MB2-730은 안정적이고 고품질 박막 및 코팅을 생산하기위한 강력한 스퍼터링 장치입니다. 마그네트론-쿼드 (Magnetron-Quad) 구성과 조절 가능한 전원 수준을 통해 정확한 제어가 가능하며, 통합 작동 패널 (Operating Panel) 과 강력한 안전 기능은 사용자의 안전성과 장비의 무관성을 보장합니다.
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