판매용 중고 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9083530

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730은 박막 증착에 이상적인 컴팩트하고 강력한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터 소스, 기판 및 대상 어셈블리, 무균성 음극 전송 장치로 완전히 자동화되었습니다. 스퍼터 소스 어셈블리는 향상된 증발 자기 스퍼터 소스를 특징으로하며 DC 및 RF 자기 스퍼터링 모두 가능합니다. 대상 및 기판 어셈블리에는 선형 변환 단계 (라운드 (round) 또는 사각형 (rectangular) 스퍼터 대상 (sputter target) 로 로드됨) 와 기판을 쉽게 로드하고 언로드할 수 있는 회전 가능한 기판 홀더가 포함됩니다. 무균성 음극 전달 장치 (aseptic cathode transfer device) 는 광범위한 온도에서 깨끗하고 반복 가능한 기판 전달을 보장하도록 설계되었으며, 원치 않는 미립자 오염을 방지하기 위해 이온 소스와 정전기 셔터를 포함합니다. TEL MB2-730은 10 밀리토르 미만의 작동 압력에 도달 할 수 있으며 직경이 최대 24 "인 기질을 수용 할 수 있습니다. 또한, 지속적인 기판 온도를 유지하기 위해 온도 조절 기판 홀더, 추가 된 안전을위한 아르곤 백필 (argon backfill) 및 셔터 (shutter) 가 특징입니다. 이 장치는 사용 편의성과 신뢰성을 위해 설계되었으며 금속, 유전체, 도체, 반도체 등 다양한 필름 (film) 의 균일 한 증착을 제공하도록 최적화되었습니다. VARIAN MB2-730은 박막 증착 응용 분야에 이상적인 강력하고 다목적 스퍼터링 기계입니다.