판매용 중고 VARIAN / NOVELLUS M2i #9213819

VARIAN/NOVELLUS M2i는 대기압 PVD (Physical Vapor Deposition) 프로세스를 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 다양한 스퍼터링 대상 (sputtering target) 과 증착 소스 (deposition source) 를 활용하여 다양한 응용 분야에서 박막 (thin film) 을 생산하는 다목적 소형 시스템입니다. 이 장치의 구성 요소는 증설 처리량, 수율, 프로세스 일관성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 2 개의 목표 은행과 이중 마그네트론 스퍼터링 머신 (magnetron sputtering machine) 이 특징이며 동시 및 순차 스퍼터 증착이 가능합니다. 이 도구는 재료 증착의 유연성을 위해 설계되었으며, 다양한 대상 재료 (target material) 와 스퍼터링 (sputtering) 모드를 사용할 수 있습니다. 자산의 전원은 스퍼터링 (Sputtering) 목표물에 25kW 이상의 전력을 공급할 수 있으므로 프로세스 제어가 뛰어납니다. 통합 컨트롤러는 스퍼터 증착을 개선하기 위해 조절 가능한 챔버 압력을 가지고 있습니다. 특허를받은 이중 마그네트론 스퍼터링 모델은 IAD (Ion Assisted Deposition) 및 다양한 음극 스퍼터링 모드에서 작동 할 수 있습니다. 이 장비는 자동 필름 제어 및 프로세스 모니터링도 제공합니다. 이를 통해 프로세스는 최소한의 결함 및 프로세스 편차에 맞게 최적화됩니다. 다른 특징 들 중 에는 "터어보 '" 펌프' 와 재순환 냉각수 "시스템 '이 있어서 약실 의 오염 을 방지 한다. VARIAN M2i는 높은 증착율 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 프로세스는 빠르고 정확하게 구현 될 수 있으며, 통합 난방 요소는 저온 필름 강착 (low temperature film deposition) 을 허용합니다. 최고 수준의 PVD 기술 솔루션을 제공하는 하이엔드 장치입니다.