판매용 중고 VARIAN / NOVELLUS M2i #9146577

VARIAN/NOVELLUS M2i 스퍼터링 장비는 가장 다양한 증착 도구 중 하나입니다. 완벽한 자동 in situ 모니터링 및 제어 기능을 갖춘 멀티 기술 플랫폼입니다. VARIAN M2i에는 2 개 또는 4 개의 평면 음극이 장착되어 있으며 25MHz에서 최대 100 와트, 250MHz에서 1000 와트를 제공 할 수 있습니다. 금속, 합금, 산화물, 칼코 제니드 등 다양한 물질에 적합합니다. NOVELLUS M2i는 RF 및 DC 마그네트론 스퍼터링과 RIE (reactive ion etching) 및 고급 기판 회전을 모두 갖춘 다중 기술 도구입니다. 이러 한 기법 들 은 여러 가지 조합 과 공정 에 사용 되어, 고도 의, 복잡 한 물질 을 증착 할 수 있게 해 줄 수 있다. 그렇다. 이 시스템은 또한 동일한 진공 실에 통합 된 고출력 및 고속 MESA DC 스퍼터 소스를 갖추고 있습니다. 이 통합 플랫폼 (Integrated Platform) 을 사용하면 다른 소스의 여러 재료를 동시에 스퍼터링하고, 스퍼터 소스를 신속하게 전환할 수 있습니다. M2i 스퍼터링 (Sputtering) 장치와 함께 사용되는 고급 제어 및 모니터링 (Advanced Control and Monitoring) 시스템은 원하는 속성이 달성되도록 완전히 자동화될 수 있습니다. 이는 인사이트 (in situ) 모니터링 기능을 통해 강화되어 두께, 구성 및 전기 특성을 실시간으로 측정 할 수 있습니다. 또한 VARIAN/NOVELLUS M2i 에는 특허를 획득한 다중 매개 변수 제어 기능이 포함되어 있어 여러 Sputter Source 를 동시에 모니터링하여 탁월한 프로세스 관리 및 최적화 기능을 제공합니다. VARIAN M2i (VARIAN M2i) 에는 고급 연구를위한 이상적인 도구로 많은 추가 기능이 포함되어 있습니다. 에칭을위한 반응성 챔버 (reactive chamber for etching), 내부 표면 진단 기계 (in-situ surface diagnostics machine), 넓은 온도 범위를 가진 큰 샘플 챔버 (sample chamber) 및 고급 재료의 사용자정의 증착을 가능하게하는 여러 가지 다른 기능이 포함됩니다. NOVELLUS M2i (NOVELLUS M2i) 는 재료 증착 및 자동 제어 모두를위한 통합 시스템을 통해 복잡한 재료를 정밀하게 증착하기위한 솔루션을 제공합니다.