판매용 중고 VARIAN / NOVELLUS M2i #9106398

VARIAN/NOVELLUS M2i는 고 생산, 두꺼운 필름 증착 응용 프로그램에 강력한 성능을 제공하는 고급 스퍼터링 장비입니다. VARIAN M2i는 도체, 유전체 및 금속 산화물을 포함한 다양한 필름을 증착 할 수 있습니다. 이 제품은 대용량 생산을 위해 설계되었으며, TCO (총소유비용) 가 적어 실험실이나 생산 시설에 스퍼터링 (sputtering) 기능을 추가하려는 사람들에게 매력적인 선택입니다. NOVELLUS M2i에는 증착 과정에 대한 얕고 깊은 접근을 허용하는 2 인치 마그네트론 스퍼터링 시스템이 장착되어 있습니다. 이 제품은 듀얼 출력 (dual output) 을 갖춘 단일 소스 유닛으로, 필름 증착에 최대 6kW의 전력을 제공합니다. 소스는 증착 환경 (deposition environment) 이 바뀌더라도 일관된 수준의 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 높은 증착률을 위해 설계되어 대략 16-20 nm/min 속도를 제공합니다. M2i (M2i) 는 필름의 지형, 커버리지 및 균일성을 정확하게 제어 할 수있는 두꺼운 필름 레이어를 생성 할 수 있습니다. 이 툴은 매우 안정적이며, 이 툴의 소프트웨어는 손쉬운 운영/유지 보수가 가능하도록 설계되었습니다. 에셋은 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 모드로 작동하여 사용자에게 높은 유연성을 제공합니다. 또한 VARIAN/NOVELLUS M2i에는 예상치 못한 사건으로부터 재료를 보호하기 위해 응급 발전기가 장착되어 있습니다. VARIAN M2i (VARIAN M2i) 는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 가진 두꺼운 필름 레이어를 생산하려는 사람들에게 귀중한 도구입니다. 낮은 소유 비용과 결합된 강력한 성능으로 인해 NOVELLUS M2i (NOVELLUS M2i) 는 모든 실험실 또는 생산 시설에 매우 매력적인 옵션입니다.