판매용 중고 VARIAN M2I #293813097

VARIAN M2I는 VARIAN Systems, Inc.에서 제조 한 고급 멀티 축 스퍼터 증착 장비입니다. 이 시스템은 금속, 반도체, 플라스틱, 도자기 등 다양한 기질에 고품질의 스퍼터링 코팅을 제공하도록 설계되었습니다. VARIAN M 2 I 장치는 3축 로봇 플랫폼에서 간접 DC-magnetron/arc-target 구성을 사용합니다. 이 구성은 최적의 프로세스 정교화 및 고급 코팅 스퍼터 증착 기능을 보장합니다. 이 기계는 8 인치 기판 단계, 5-13 무장 로봇 암, 3 개의 이중 팁, 로봇 스퍼터 건 및 8 개의 소외 프로세스 컨트롤러가있는 닫힌 공구 스퍼터 증착실을 갖추고 있습니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 자산이 복잡하고 넓은 영역 기판을 스퍼터링하는 한편, 일관된 레이어 두께와 품질을 유지할 수 있습니다. 또한이 기기에는 +/-3 mTorr 범위의 압력 제어 모델과 빠른 펄스 (pulsed) 또는 연속 (continuous) 가스 흐름을 제공하는 가스 입/출력 서브 시스템이 있습니다. M2I의 디지털 PLC 장치 (Digital PLC unit) 는 고급 프로세스 내 제어 알고리즘을 갖추고 있으며, 이 장비는 반응성 스퍼터 증착과 순수 수동적 스퍼터 증착을 모두 포함 할 수 있습니다. 또한, 이 기기에는 통합 된 3 챔버 진공 서브 시스템 (3 챔버 진공 서브 시스템) 이 있으며, 이는 증착 과정에서 고도의 깨끗함과 낮은 배경 가스 압력을 보장하는 데 도움이됩니다. 이 서브시스템은 여러 재료가 필요한 레시피에도 사용할 수 있습니다. M 2 I 는 증착 프로세스를 더욱 최적화 및 간소화할 수 있는 광범위한 추가 기능을 제공합니다. 여기에는 원하는 스퍼터링 온도까지 대상을 따뜻하게 만드는 데 사용할 수있는 프로그래밍 가능한 대상 히터 (programmable target heater) 와 다양한 스퍼터 매개변수 (sputter parameters) 를 실시간으로 표시하는 실시간 프로세스 모니터 (real-time, process monitor) 가 포함됩니다. VARIAN M2I는 금속, 반도체, 플라스틱, 도자기 등 다양한 기판에서 고품질의 스퍼터 코팅을 제공하도록 설계된 고급 멀티 축 스퍼터 증착 시스템입니다. 이 장치에는 8 인치 기판 단계, 5-13 무장 로봇 암, 3 개의 이중 팁, 로봇 스퍼터 건 및 압력 제어기가 있습니다. 또한이 기기에는 고급 공정 제어 알고리즘이있는 디지털 PLC 장치 (Digital PLC unit) 와 최적의 청결 성과 낮은 배경 가스 압력을 보장하는 3 챔버 진공 서브 시스템 (3-chamber vacuum subsystem) 이 있습니다. 마지막으로, VARIAN M 2 I은 프로그래밍 가능한 타겟 히터 및 실시간 프로세스 모니터링을 통해 프로세스 정교화 및 코팅 스퍼터 증착 기능을 더욱 향상시킵니다.