판매용 중고 VARIAN M 2000/8 #9272645

VARIAN M 2000/8 스퍼터링 (sputtering) 장비는 광범위한 산업 및 연구 과제에서 표면 품질이 우수하도록 설계된 고성능 각도 스퍼터 증착 시스템입니다. VARIAN M 2000/8은 최첨단 디지털 구동 8 인치, 3kW 스퍼터 소스로 구성됩니다. 이 출처는 산업 요구 과정에 필요한 높은 증착율을 생산 할 수 있습니다. 재료는 다양한 DC 및 DC 펄스 모드에서 최대 8 개의 타겟에서 동시에 스퍼터링되며, 각 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 맞게 빠르고 쉽게 조절 가능한 증착률을 제공합니다. 이 장치에는 고급 엔드 포인트 (end-point) 가 장착되어 박막 증착 과정에서 정확한 증착 제어를 제공합니다. 또한, 기계의 선형 운동 동력 단계 (Linear Motion Motorized Stage) 는 최대 5 개의 기판을 동시에 진공 챔버에 적재하여 다중 증착 프로젝트의 최대 처리량을 허용합니다. 이러한 단계는 처리 중 기판을 완전하고 정확하게 수직 조정할 수 있도록 합니다. 또한이 도구에는 2 단계 대피 자산이 포함되어 있어 챔버 (chamber) 의 신속한 대피 및 처리 시퀀스 (processing sequence) 동안 최고의 미세한 제어 및 균일 성을 모두 허용합니다. M 2000/8은 증착 과정에서 최고 수준의 성능을 제공하도록 설계되었으며, 독립 대상 헤드 제어, 사전 설정/수동 스퍼터 전원 설정, 각 스퍼터 소스에 대한 독립적 인 전류/전압 모니터링 등 다양한 고급 디지털/아날로그 제어 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 사용하면 중요한 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. "챔버 '는 정밀 한 증착" 프로파일' 을 제공 하도록 정교 하게 설계 되었으며, 가동 중 에 "스퍼터 '된 물질 의 고도 의 균일성 을 보장 하기 위하여 특별 한 강자성" 쉴드' 로 설계 되었다. 이로 인해 스퍼터링하는 동안 표면 품질이 우수합니다. 또한, 고성능 챔버 디자인은 증착 과정에서 오염 물질과 바람직하지 않은 불순물이 없도록 잘 유지되는 필름 (film) 을 보장합니다. 이 모델은 수명을 보장하기 위해 최고 품질의 소재 (material-quality material) 를 사용하여 구성되며, 이 소재는 몇 년 동안 중단되지 않은 서비스 (unthrupted service) 를 위해 설계되었습니다. 또한 M 2000/8은 스퍼터링 (sputtering) 에 대한 VARIAN 전문 지식이 지원되며, 장비의 평생 동안 포괄적인 기술 지원 포럼에 액세스 할 수 있습니다. 전반적으로, VARIAN M 2000/8은 광범위한 산업 및 연구 응용 프로그램에서 뛰어난 표면 품질과 성능을 달성하기위한 이상적인 스퍼터링 시스템입니다.