판매용 중고 VARIAN M 2000/8 #9083929
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VARIAN M 2000/8은 고급 가변 압력 PVD 프로세스에 일반적으로 사용되는 다목적 스퍼터링 장비입니다. 최소한의 공간을 차지하는 컴팩트한 탁상시스템 (Tabletop System) 이지만, 광범위한 소재의 효율적이고 정밀한 증착을위한 다양한 기능을 제공합니다. 이 장치에는 C 프레임 스퍼터링 챔버, 생산 멀티 타겟 기능, 중량, 유지 보수 고진공 펌프 및 재료 설정을위한 사용하기 쉬운 컨트롤러가 포함됩니다. 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 에는 열 보조 및 비 열 보조 재료 증착에 적합한 프로그래밍 가능한 정전기 척이 포함되어 있습니다. 이 기계에는 또한 10-5 Torr의 정상 상태 압력과 10-3 Torr에서 10-8 Torr의 가변 압력 범위를 지원할 수있는 고급 펌핑 기술이 포함되어 있습니다. VARIAN M 2000/8의 프로덕션 멀티 타겟 기능은 동일한 작업에서 최대 4 개의 개별 대상에서 최대 8 개의 재료를 증착 할 수 있습니다. 대상 보유자는 챔버 (chamber) 의 양쪽에 배치되어 모든 목표물을 균등하게 조명할 수 있으며, 이는 모든 재료에 균일 한 증착을 보장하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 또한 고 수율 증착 프로세스에 최적화되었습니다. 최대 10 kW 의 총 목표 전력으로 작동할 수 있으며, 가능한 증착 문제를 감지하고 해결하고, 총 증착률을 최적화할 수 있는 진단 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 자산에는 물질로드/언로드 사고를 예방하기위한 인터 록 (interlock) 과 운영자 안전을 보호하기 위한 실어 보호 차폐 (Hander-on Protection Shielding) 를 포함한 포괄적인 안전 기능이 포함되어 있습니다. M 2000/8은 PVD 증착 요구에 대한 포괄적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 고급 스퍼터링 기술 (Sputtering Technology) 과 정확한 멀티 타겟 기능 및 안전 기능을 결합하여 고품질의 균일 한 재료 증착, 최고 효율성, 총 처리 시간 및 비용을 줄입니다.
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