판매용 중고 VARIAN / INTEVAC MDP-1100 #9285764

VARIAN/INTEVAC MDP-1100 스퍼터링 장비는 반도체, 광학 및 전자 산업의 응용 분야에 이상적인 고급 박막 증착 도구입니다. VARIAN MDP-1100은 금속 또는 세라믹 스퍼터 대상 (Ceramic Sputtered Target) 을 사용하여 박막 (Thin film) 을 정확한 속도로 증착하고 높은 반복 성과 정확도를 갖습니다. 이 스퍼터링 시스템은 낮은 ESD 디자인의 이중 마그네트론 및 이중 건 스퍼터링 (Dual-Gun Sputtering) 과 조절 가능한 기판 테이블이있는 300mm 스퍼터 (Sputterer) 를 갖추고 있으며 최대 8 개의 독립적 인 스퍼터 소스로 여러 기판을 처리 할 수 있습니다. 스퍼터링 소스는 일정하고 균일 한 필름 증착 속도를 유지하기 위해 가열되며, 안정적인 작동을 위해 저전력, 저출력, 고주파 RF 발전기로 설계되었습니다. INTEVAC MDP-1100에는 고급 프로세스 제어 장치 (Advanced Process Control Unit) 가 장착되어 있어 스퍼터 속도 (Sputter Rate) 및 높은 정밀도의 기타 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 듀얼 건 스퍼터에는 실시간 증착 최적화를 위해 AFTM (Automatic Film Thickness Monitor) 도 있습니다. 이 기계는 단순화된 작동과 뛰어난 도구 성능을 위해 설계된 직관적인 GUI (Graphical-User Interface) 로 더욱 향상되었습니다. MDP-1100 스퍼터링 자산은 수평이며 모듈식 o-ring 설계가 있습니다. 이 모델은 업그레이드 된 진공 내 냉각 팬으로 구동되며, 넓고 인체 공학적으로 설계된 열 절연 챔버 (thermal insulated chamber) 및 다중 추적 절차를 갖추고 있습니다. 전체 장비는 다양한 표준 산업 구성 요소와 호환됩니다. VARIAN/INTEVAC MDP-1100은 금속 또는 세라믹 대상의 연속 및 배치 스퍼터링을위한 신뢰할 수있는 플랫폼입니다. 통합된 구성 요소 추적 시스템 (Component Tracking System) 과 자동화된 프로세스 제어 (Process Control) 기능을 통해 다양한 씬 필름 애플리케이션을 위한 최적의 선택이 가능합니다. 내장 안전 기능은 청소 시설의 사용자 안전을 보장합니다. VARIAN MDP-1100은 엄격한 ISO 인증 지침에 따라 UL 승인 및 제조됩니다.