판매용 중고 VARIAN E47000454 #9126496

VARIAN E47000454는 일반 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 다양한 증착 파라미터 (deposition parameter) 에 걸쳐 기판에 박막 (thin film) 을 높은 속도로 증착 할 수 있습니다. 이 시스템은 유도 결합 된 아르곤 플라즈마 소스를 사용하여 고균일 및 재생 가능한 스퍼터링 된 필름을 생산합니다. 7 인치 직경, 4 위치 회전 스퍼터링 대상을 특징으로하여 여러 재료를 스퍼터링할 수 있습니다. 특화된 RF 구동 스퍼터링 이온 소스 (sputtered ion source of the unit) 는 기판에 다양한 구성의 필름을 배치하는 효율적인 방법을 제공합니다. E47000454 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 에는 높은 유속 가스 제어 도구를 갖춘 큰 4 인치 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 가 있어 필름의 물리적 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 다른 온도에서 필름의 등각 증착을위한 온도 조절 기판 난방 플레이트를 특징으로합니다. 이 자산은 다양한 진공 측정 장치 (vacuum measurement device) 와 호환되므로 사용자가 스퍼터링 챔버의 압력을 측정 할 수 있습니다. 이 모델에는 장비 제어를 용이하게하는 PLC (programmable logic controller) 가 있어 정확하고 균일 한 증착 및 재료 사용이 가능합니다. VARIAN E47000454는 견고하고 에너지 효율적인 전원 공급 장치 (power supply) 를 통해 최대 5nm/min의 증착률을 제공하는 반면, 특수 유도 결합 스퍼터링 소스는 기판 전체의 예금을 균일하게 보장합니다. 또한, DC 스퍼터링 용 DC 전원 공급 장치를 갖추고 있으며, 부식성 특성이 낮은 필름을 입금 할 수 있습니다. 이 시스템의 또 다른 장점은 통합 소프트웨어를 통한 프로세스 매개변수 제어 (control of process parameters) 입니다. 이 제어 장치 (Control Unit) 를 사용하면 사전 실험을 복제하고 반복 가능한 증착 결과를 얻을 수 있습니다. E47000454 스퍼터링 머신은 균일성, 고도 증착 및 다재다능성을 가지고 있습니다. 반도체, 데이터 저장, 태양 에너지, 의료, 항공 우주 등 다양한 산업에 이상적입니다. 수많은 장점 으로, "필름 '은" 필름' 의 증착 을 위한 훌륭 하고 비용 이 많이 드는 효과적 인 해결책 이다.