판매용 중고 VARIAN 600 GLC #9253624

VARIAN 600 GLC 스퍼터링 장비는 박막 증착 시스템에 사용되는 PVD 증착 도구입니다. 스퍼터링, 증발, 화학 증기 증착 (CVD) 및 반응성 이온 에칭 (RIE) 과 같은 고속, 고 질량 증착 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 실리콘 웨이퍼, 쿼츠 플레이트, 스퍼터 증착을 위해 기타 재료와 같은 다양한 기판을 사용합니다. 600 GLC는 고급 스퍼터 증착 도구 (sputter deposition tool) 로, 기능을 향상시키기 위해 다양한 기능을 제공합니다. 실을 적재 및 언로드 (unloading chamber) 를 갖춘 듀얼 챔버 (dual chamber) 디자인이 특징이며, 기판을 과도한 오염에 노출시키지 않고 효율적인 기판 전송이 가능합니다. 약실 의 온도 도 조절 할 수 있어서, 증착 과정 중 에 "온도조절 '이 가능 하다. 이 장치는 또한 스퍼터 속도, 목표 전력 수준, RF 주파수, 증착률 등 광범위한 프로세스 매개 변수를 갖추고 있습니다. 이 기계에는 또한 고출력 마그네트론 소스 (magnetron source) 가 포함되어 있으며, 이는 전도가 높은 금속 및 기타 재료에 이상적입니다. "마그네트론 '원 은" 스퍼터' 증착 에 더 높은 전력 밀도 를 제공 해 주며, 그 결과 증착율 이 훨씬 더 높고 증착 과정 이 더 많이 조절 된다. 이 도구는 또한 CVD 프로세스에 사용 된 반응물의 농도를 제어하기위한 가스 주입 옵션 (gas-injection option) 을 특징으로합니다. 바리안 600 GLC (VARIAN 600 GLC) 는 고품질 설계를 갖춘 매우 신뢰할 수있는 자산이며, 업계에서 고질량, 고품질 증착 공정의 증착을위한 귀중한 도구로 입증되었습니다. 산업용 (industrial) 과 연구용 (research application) 모두에 대한 공정을 수행 할 수 있으며, 종종 제조 및 연구 개발 실험실에서 발견됩니다. 이 모델은 박막 증착의 다재다능성을 가능하게하며 금속 (metal) 에서 절연체 (insulator) 에 이르기까지 다양한 재료를 증착하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 600 GLC는 고온 어닐링 및 빠른 열 처리를 포함한 다양한 실험 프로세스에 사용될 수 있습니다. 이 장비는 또한 스퍼터링 (sputtering) 과 같은 프로세스에서 탁월한 정확성과 반복 성을 제공하여 박막 (thin film) 을 정확하게 제어 할 수 있습니다.