판매용 중고 VARIAN 3290ST #293628007

VARIAN 3290ST는 고품질 박막 (Thin Film) 을 기판에 증착하도록 설계된 견고한 고성능 스퍼터링 장비입니다. 혁신적인 이중 마그네트론 (dual magnetron) 원칙을 활용하여 균일하고 통제 가능한 증착 과정을 만듭니다. 이를 통해 전도성 (conductive), 절연 (insulating), 자기 (magnetic) 등 다양한 재료를 다른 모양, 크기 및 조성의 기판에 증착시킬 수 있습니다. VARIAN 3290 ST는 챔버와 진공 제어 증착 헤드로 구성됩니다. 챔버는 에르 메트 적으로 밀봉되어 있으며, 2 세트의 트리오드 전극과 함께 저 임피던스 마그네트론을 포함한다. 진공 수준을 유지하기 위해 터보 분자 펌프가 포함됩니다. 마그네트론은 균일 한 스퍼터링 필드를 제공하며, 통제 가능한 증착 속도를 허용합니다. 또한 조정 가능한 공정 가스 제어 시스템 (gas control system) 을 사용하여 최적의 필름 품질을 위해 최적의 환경을 보장합니다. 증착 헤드는 2 세트의 코일로 구성되어 있으며, 이는 자기장을 만듭니다. 제 1 "코일 '은" 플라즈마' 동력 "펄스 '를 기판 에 적용 시키는 데 사용 되고, 제 2" 세트' 는 균일 한 "스퍼터링 '장 을 생성 하는 데 사용 된다. 스퍼터링 필드 (Sputtering Field) 는 기판 표면에 균일 한 에너지 분배를 생성 할 수 있으며, 그 결과 증착률이 높고 필름 품질이 잘 정의됩니다. 이 장치는 진공 및 대기 압력 공정 모두에서 작동하도록 설계되었습니다. 공정 "가스 '조절 장치 는 압력, 비율, 편향 전압, 온도 뿐 아니라 다른" 가스' 유량 의 조정 을 가능 케 한다. 또한 3290ST에는 최적의 프로세스 제어 및 반복성을 보장하는 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 가 장착되어 있습니다. 3290 ST는 안정적이고 비용 효율적인 스퍼터링 자산으로, 고품질 박막 제작에 적합합니다. 고급 디자인은 향상된 필름 품질, 프로세스 제어, 긴 서비스 수명을 제공합니다. 고성능 은 자동차, 항공 우주, 광학, 반도체 산업 의 "응용프로그램 '에 이상적 이다.