판매용 중고 VARIAN 3290 #9398805

VARIAN 3290 스퍼터링 장비는 다양한 PVD (Physical Vapor Deposition) 응용 프로그램을 위해 설계된 다용도 고성능 증착 시스템입니다. 이 장치는 견고하고 신뢰할 수있는 작동뿐만 아니라 증착률 (deposition rate) 및 프로세스 매개변수 (process parameters), 빠른 증착률 (fast deposition rate) 및 큰 샘플에 걸친 정확한 균일성 (unifority) 을 정확하게 제어합니다. 3290 은 모듈식 PVD 시스템으로, 특정 애플리케이션 또는 프로세스를 지원하기 위해 다양한 애드온 (add-on) 모듈과 구성 요소를 갖추고 있습니다. 이 도구에는 고출력 스퍼터 건, RF 또는 DC 전원 공급 장치, 프로세스 매개변수 모니터링 기능, 최대 4 개의 작동 실이있는 통합 스토리지 챔버 (storage chamber) 가 포함됩니다. 이 챔버는 프로세스 요구 사항이 바뀌면 전통적인 스퍼터링 증착, 멀티 타겟 스퍼터링 (Multi-Target Sputtering) 및 이중 타겟 증착, 반응성 스퍼터링 (Reactive Sputtering) 및 다양한 추가 구성을 실행할 수 있습니다. 뛰어난 균일성을 보장하기 위해 자산은 기판 전체에 균일성을 제공하기 위해 AUC (Automatic Uniformity Compensation) 를 제공합니다. 이 모델은 또한 고정밀 온도 제어 (high-precision temperate control) 를 특징으로하며, 실온에서 1000 ° C 이상까지의 공정 온도와 광학 및 등각 필름 레이어의 온도 타킹 기능을 제공합니다. VARIAN 3290은 1x10-7 Torr의 진공 수준에서 최대 10 Torr까지 작동하도록 설계되었으며, 펌핑 속도는 초당 최대 30 리터이며, 재료 호환성에 대한 최신 RoHS 표준을 준수합니다. 이 장비는 DMS (Digital Stepper Motor), LM (Linear Motor) 및 AM (open-loop Analog Motor) 의 조합으로 구동되어 빠르고 정확한 모션 제어를 제공합니다. 최대 안전을 위해 3290에는 통합 안전 연동 시스템, 외부 비상 정지 기능, 임베디드 컨트롤러 (Embedded Controller) 와 같은 고급 안전 기능이 포함되어 있습니다. 컨트롤러는 필요에 따라 스퍼터링 매개변수 (sputtering parameters) 와 증착 매개변수 (deposition parameter) 를 조정할 수 있는 기능뿐만 아니라, 장치에 대해 쉽고 반복적으로 설정할 수 있는 설정을 제공합니다. VARIAN 3290은 다재다능하고 신뢰할 수있는 PVD 기계로 금속, 합금, 산화물, 유전체를 포함한 다양한 층 물질을 만들 수 있습니다. 이 도구는 마이크로 일렉트로닉스, 광전자, 항공 및 방위, 자동차 및 산업 용도와 같은 분야의 응용 분야에 이상적입니다. 이 자산은 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 더 높은 성능, 향상된 프로세스 제어 기능을 위해 업그레이드할 수 있습니다.