판매용 중고 VARIAN 3290 #9376019

ID: 9376019
빈티지: 1990
Sputtering system 1990 vintage.
VARIAN 3290은 고급 박막 증착 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 직경 이 최대 5 "인치 '인 회전 할 수 있는 기질 을 이용 하여, 주어진 방향 으로 정밀 한 균일 한 박막 증착 을 한다. 갈륨 아르 세르 지드 (Gallium Arsenide) 필름의 기탁과 같은 고급 연구 개발 응용 프로그램 (Advanced Research and Development Application) 에 종종 사용됩니다. 3290 에는 다양한 기능이 있어 하이엔드 스퍼터링 (sputtering) 애플리케이션에 적합한 시스템입니다. 4 개의 독립적으로 제어 가능한 음극 전원 공급 장치와 간단한 소프트웨어 사용자 인터페이스가 있습니다. 이를 통해 사용자는 알루미늄 (Aluminum), 구리 (Copper), 티타늄 (Titanium) 등 다양한 필름 재료를 스퍼터링하는 데 필요한 모든 매개 변수를 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 매우 정확한 제어는 또한 0.1 미크론만큼 얇은 필름을 스퍼터 할 수 있습니다. VARIAN 3290에는 사고가 발생하지 않도록 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 진공 연동 장치 (vacuum interlock unit) 가 장착되어 진공 누출이 발생하면 기계를 종료합니다. 게다가, 그것 은 고유 한 원호 억제 장치 를 가지고 있는데, 이것 은 현재 의 원호 가 얇은 "필름 '을 형성 하고 손상 시키는 것 을 방지 해 준다. 3290 년에는 온보드 컴퓨터 머신 (on-board computer machine) 이 장착되어 있어 스퍼터링 프로세스에서 얻은 데이터를 쉽게 분석 및 조작할 수 있습니다. 이것은 박막 스퍼터링 프로세스의 정확성과 반복성을 높이는 데 도움이됩니다. 또한 스퍼터링 (sputtering) 프로그램을 저장할 수 있는 기능을 제공하여 매번 동일한 매개변수를 구성하지 않고도 쉽게 박막 증착 (thin film deposition) 프로세스를 반복 할 수 있습니다. 다용도, 다양한 기능, 안전 시스템, 정밀 제어 기능으로 인해 VARIAN 3290은 어플리케이션을 위해 고품질의 스퍼터링 (sputtering) 도구를 필요로 하는 사람들에게 완벽한 선택이 됩니다. "프로그래밍 '의 용이성 과 최고 120" 미터 '/분 의 빠른 "스퍼터링' 속도 가 그 매력 을 더해 준다. 궁극적으로, 3290은 고급 박막 증착이 필요한 모든 연구 또는 개발 프로젝트에 대해 비현실적이지만 귀중한 자산입니다.
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