판매용 중고 VARIAN 3290 #9375148

VARIAN 3290은 다양한 증착 응용을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. RF 및 DC 스퍼터 전원의 조합과 같은 기능을 사용하여 기판에서 높은 등각 (conformal) 및 균일 한 박막 코팅을 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 평면 (planar) 및 회전 가능한 스퍼터 대상 (sputter target) 을 모두 갖추고 있으며, 기판에 하나 이상의 재료 레이어를 높은 비율로 증착할 수 있습니다. 3290에는 고속 성장 및 증착 공정이 가능한 고진공 펌핑 (high vacuum pumping) 및 가스 절단 시스템이 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치에는 사용자 친화적, 인체 공학적 작업장에서 작은 설치 공간 작동이 가능한 컴팩트 한 디자인이 있습니다. VARIAN 3290에는 컴퓨터 제어 주파수 기반 스퍼터 전원 제어 장치 (Sputter Power Control Machine) 가 있습니다. 이 도구에는 RF 및 DC 스퍼터 증착에 모두 사용할 수있는 조정 가능한 터보 스퍼터링 자산도 포함되어 있습니다. 이 모델에는 전자기 스퍼터 (electro magnetic sputter) 셔터 제어 (shutter control) 기능이 장착되어 있어 스퍼터 전력과 증착률을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 장비에는 직관적 인 디지털 비활성 가스 분사 시스템 (digital inert gas injection system) 이 있으며, 이를 통해 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 3290 은 또한 고급 "스퍼터 가스 '장치 를 이용 하여" 스퍼터' 흐름 과 기판 온도 를 정확 히 제어 한다. 기계는 기판 표면의 정확한 온도 제어를 가능하게 하는 닫힌 루프 온도 제어 도구 (closed loop temperature control tool) 를 포함합니다. 또한, 에셋에는 동적 압력 제어 (dynamic pressure control) 기능이 포함되어 있어 원하는 코팅 속도에 대한 올바른 압력 제어를 제공할 수 있습니다. VARIAN 3290은 다른 비교 가능한 시스템보다 단위 면적 당 가장 높은 스퍼터 농도를 제공합니다. 3290은 사용 가능한 가장 발전된 스퍼터링 시스템 중 하나이며, 매우 등각 및 균일 한 박막 증착 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 모델은 다양한 스퍼터 (sputter) 전원 공급 장치를 사용하여 기판 온도, 표면 압력 등 다양한 매개변수를 제어합니다. 또한이 장비는 조절 가능한 터보 스퍼터 시스템 (Turbo Sputter System) 과 주파수 기반 스퍼터 전원 제어 장치 (Sputter Power Control Unit) 및 직관적 인 비활성 가스 분사기를 갖추고 있습니다. 이 도구에는 원하는 코팅 속도를 달성하기 위해 동적 압력 제어 (Dynamic Pressure Control) 기능도 포함되어 있습니다.