판매용 중고 VARIAN 3290 #9273814
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판매
ID: 9273814
Sputtering system, 6"
With PC
(3) Process modules
AC Rack
Compressor
Particle reduction option
Water pump option
CTI 8F Cryo pump
Utility box
Power supply type: 12kW (Gen1)
RF Bias option
DC Bias with heater
EUROTHERM Heater controller
FLUKE 1722, 1722A / KESA Controller
Controllers:
FLUKE 1722A with floppy diskette
Wafer Load Controller (WLC)
Wafer Process Controller (WPC)
ARGON MKS-250B Controller
Wafer Heater Controller (WHC)
EUROTHERM Heater controller
Thin film monitor
Thermocouple gauge control
Interlock and interface chassis
Vacuum system control
Ion gauge control
Cryo temperature monitor
Power distribution chassis
Low voltage power supply
Master interconnect
RF Etch monitor
Phase mag discriminator
Electrical utility box
Mechanical utility box
Wafer handler utility box
DC Power supplies: 12kW
RF Generator IKW: RFPP RF-10
Bias option heater block
Mechanical pump
CTI Cryo pump and compressor
Coaxial feedthrouh type
HI-Vac valve
Source power meter
Cassette motor controller
RF Matching controller
Wafer handler assy
No loadlock turbo control
No VIPS turbo controller
Metal cassette missing.
VARIAN 3290은 VARIAN Corporation에서 설계 및 개발 한 스퍼터링 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 박막 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 재료 증착이 뛰어나고 청소 과정이 뛰어납니다. 3290 장치는 3 부입니다. 재료 소스 모듈 (materials source module) 은 금속, 합금 및 산화물과 같은 재료가 미리 정해진 속도로 기계에 공급되는 곳입니다. 재료 를 물질적 인 근원 에 공급 하면, 이 과정 은 가열 된 "챔버 '내 에서 진행 되는데, 거기 에서 기판 이 배치 된다. 세 번째 부분 인 전원 공급 장치 (Power Supply Module) 는 기판과 재료 사이의 상호 작용을 만들고 궁극적으로 원하는 재료의 박막 (Thin-film) 을 기판에 형성하는 조정 가능한 RF 신호를 제공합니다. 이 도구는 증착 공정을 매우 잘 제어합니다. 여기에는 여러 주파수의 동작 (operation), 온도 조절 (temperature control) 및 조정 가능한 유속 (flow rate) 이 포함됩니다. 이 높은 수준의 제어 및 정밀도는 혁신적인 전원 공급 기술, 정확한 자기장 지표 및 Pulsed Plasma-Enhanced 스퍼터 기술을 통해 달성됩니다. 또한, 에셋은 직관적이고 사용자 친화적 인 인터페이스 (interface) 로 제작되어 모델의 셋업 매개변수 (setup parameters) 를 제어하고, 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 장비에는 시스템 내 안전 정지 (In-System Safety Stop) 버튼, 자동 과압 보호 장치 (Over-Pressure Protection Unit) 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 안전 장치 (Safety Features) 는 기계의 안전한 작동을 보장하고 영향을 받는 재료의 무결성을 보장하도록 설계되었습니다. 이것은 재료의 품질을 보장합니다. 이 툴은 시장에서 가장 안정적이고 고급 스퍼터링 (sputtering) 자산 중 하나입니다. 또한 사용자 친화적 시스템 중 하나로, 쉽게 학습하고, 다른 활용 사례를 활용할 수 있습니다. VARIAN 3290은 다양한 박막 증착 및 활용도 (Thin-Film Deposition and Utilization Application) 에 적합하며, 광범위한 산업에서 최고 품질의 광학 코팅, 영화 등을 제공합니다. 이 모델은 고급 박막 증착 (Thin-Film Deposition) 에 가까운 실험실을 제공하여 더 큰 경쟁 우위를 만들 것입니다.
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