판매용 중고 VARIAN 3290 #9265636

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ID: 9265636
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6" (2) Targets: Mo and ITO.
VARIAN 3290은 연구 및 산업 공정에 모두 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 얇은 재료를 기판에 증착 할 수 있습니다. 3290 의 "스퍼터링 '" 시스템' 은 얇은 층 과 "코우팅 '의 생산 을 위하여 효율적 이고 조정 가능 하며 반복 할 수 있는 공정 을 마련 해 준다. VARIAN 3290 스퍼터링 장치는 소스 홀더, 전원 공급 장치, 이온 게이지, 전송 챔버 및 컨트롤러 인터페이스의 5 가지 구성 요소로 구성됩니다. 소스 홀더는 스퍼터링 (Sputtering) 할 샘플을 보관하고 아래쪽에 구리 (Copper) 대상을 포함합니다. 이 표적은 2 개의 전원 공급 장치에 전기적으로 연결되어 있으며, 이를 통해 플라즈마의 정확한 전류 및 전압 제어가 가능합니다. 이러한 특성을 사용하면 두께, 컴포지션 및 구조가 균일한 레이어를 증착할 수 있습니다. 3290의 이온 게이지는 이온 전류 밀도를 측정하도록 구성됩니다. 이것은 스퍼터링 된 재료를 모니터링하고 균일 한 증착을 보장하는 데 도움이됩니다. VARIAN 3290의 전송 챔버는 소스를 둘러싸는 공간입니다. 여기 에 "스퍼터 '를 한 물질 을 수집 하여 기판 으로 옮긴다. 이러한 모든 구성 요소는 한 대의 컴퓨터에서 인쇄할 수 있으며 컨트롤러 인터페이스 (3290) 에서 제어할 수 있습니다. 바리안 3290 (VARIAN 3290) 에는 여러 가지 기능과 이점이 포함되어 있어 실험실 또는 생산 시설에 추가될 수 있습니다. 사용하기 쉽고, 반복 가능한 프로세스를 제공하며, 유지 보수 비용이 매우 저렴합니다. 이온 게이지 (ion gauge) 와 전원 공급 장치는 또한 다른 시스템보다 더 높은 속도로 고품질 레이어를 증설 할 수 있습니다. "트랜스퍼 챔버 '는 고효율 로 설계 되어 있어서" 스퍼터' 된 물질 을 빠르고 쉽게 옮길 수 있다. 결론적으로, 3290 개의 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 박막과 층의 증착을위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 직관적 인 사용자 인터페이스, 스퍼터링 (sputtering) 프로세스에 대한 종합적인 제어, 효율적인 전송 챔버 (transfer chamber) 를 통해 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다. 정교한 디자인과 안정적인 성능으로 인하여 모든 실험실, 산업용 생산시설에 부가할 수 있습니다.
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