판매용 중고 VARIAN 3290 #9257985

VARIAN 3290 (VARIAN 3290) 은 다양한 기판 표면에 박막 (thin film) 을 빠르고 정확하게 증착하도록 설계된 고 처리량 스퍼터링 장비입니다. 이 증착 공정은 높은 금속 증착 속도, 금속 층의 향상된 접착, 향상된 전기 및 광학 특성 (electrical/optical properties) 을 포함하여 다양한 이점을 제공합니다. 3290은 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술을 사용하여 기판에 나노 스코픽 층의 물질을 침전시킵니다. 이 시스템은 최대 200mm 사각형의 기판과 스테인리스 스틸, 알루미늄, 텅스텐, 티타늄, 구리, 크롬, 코발트, 니켈 및 금을 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. VARIAN 3290에는 1 ~ 6E-3 Torr 범위에서 작동하는 진공실이 있으며, 최소 오염으로 간단한 증착 과정이 가능합니다. RF 및 DC 마그네트론 스퍼터링을 사용할 수 있으며 터치 스크린 인터페이스를 통해 제어 할 수 있습니다. 스퍼터링 건은 원통형 자석으로 구성되며, 챔버 내부에서 고밀도, 균일 한 플라즈마를 생성합니다. 기판은 회전 테이블에 의해 챔버에 고정됩니다. 자석에 의해 생성 된 자장과 회전 속도 (rotation speed) 를 조정하여 증착 속도를 제어합니다. "아르곤 '과 같은 고귀한" 가스' 를 사용 하여 5 내지 120 "sccm '의 속도 로 그 과정 을 지원 할 수 있다. 3290은 기계식 펌프 (mechanical pump) 또는 냉동 펌프 (cryopump) 를 사용하여 챔버의 진공을 유지합니다. 이 장치는 또한 자동 프로그래밍 가능한 제어를 특징으로하며, 매번 반복 적으로 정확한 프로세스를 제공합니다. 이 프로세스는 이미지 모니터와 자동 기울기 (auto-tilt) 용량의 자동 조작기를 통해 모니터링할 수 있습니다. VARIAN 3290은 최소 10 옹스트롬의 정확도로 정밀한 레이어 두께 제어를 제공합니다. 또한, 각 런으로 최대 10 층의 균일 및 화학량 학적 증착을 달성 할 수 있습니다. 이 기계는 본질적으로 박막 증착을위한 완전한 프로세스 솔루션으로, 매번 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공합니다.