판매용 중고 VARIAN 3290 #9255392

VARIAN 3290은 주로 마이크로 일렉트로닉스 생산에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 탄탈륨 질화물, 이산화규소, 구리 및 저온 폴리-실리콘의 증착, 양성 및 음성 RIE (Reactive Ion Etching) 와 같은 다양한 공정을 수행 할 수있는 소형 통합 시스템입니다. 3290은 작고, 작은 크기와 큰 진공실과 같은 다른 스퍼터링 시스템에 비해 몇 가지 장점이 있습니다. 단순 2 "x 2" 에서 6 "웨이퍼 크기까지 다양한 기판에서 실행되도록 설계되었습니다. VARIAN 3290의 기능은 다양한 스퍼터링 작업을 수행 할 수있는 다양한 기능을 제공합니다. "스퍼터링 '공정 의 속도 를 증착 하는" 기판' 의 크기 와 복잡도 에 맞도록 조정 하는 능력 이 있다. 또한 사용 가능한 다양한 스퍼터링 대상을 가지고 있으며, 각기 다른 증착 재료 및 에칭 프로세스를 허용합니다. 스퍼터링 유형에 따라 작동할 수 있는 DC 또는 RF (Radio Frequency) 전원 공급 장치를 선택할 수 있습니다. 이러한 전원 공급 장치는 또한 RF의 경우 0 ~ 5kV, DC의 경우 0 ~ 3kV 범위의 전압을 조정하여 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 3290에는 프로세스에 대한 포괄적 인 신호 컨트롤이 장착되어 있습니다. 압력 판독 (pressure read-out), 온도 및 전압 수준 표시, 자기 압력 정보, 챔버 온도 등의 여러 디지털 디스플레이가 있습니다. 이 장치는 또한 스퍼터링 대상의 선형 동작을 모니터링하는 내장 선형 인코더 (linear encoder) 를 갖추고 있습니다. 데이터 수집 및 프로그래밍을 위해 Personal Computer에 연결할 수도 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3290은 스퍼터 코팅을위한 효율적인 기계입니다. 다른 스퍼터링 시스템에 비해 공간이 훨씬 적도록 설계된 인체 공학적 도구 (ergonomic tool) 입니다. 조정 가능한 매개 변수의 범위를 사용하여 일관성 있고 고품질 스퍼터 코팅을 만들 수 있습니다. 또한, 3290은 저온, 소형화 된 전자 제품 및 고급 마이크로 시스템 개발에 적합합니다. 정확한 스테퍼 모터 컨트롤 (stepper motor control) 과 쉬운 작동을 통해 VARIAN 3290은 연구 및 생산 작업에 이상적인 소형 스퍼터링 자산입니다.