판매용 중고 VARIAN 3290 #9245003

VARIAN 3290은 VARIAN Semiconductor가 설계 한 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 마이크로 일렉트로닉스 산업을위한 고품질 재료를 생산할 수 있습니다. 3290은 진공 환경에서 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 얇은 재료를 매장하도록 설계되었습니다. 단일 또는 이중 스퍼터링 소스, 가변 전원 공급 장치, 이온 에치 소스, 고진공 펌핑 시스템 (high-vacuum pumping system) 이 장착되어 종합적인 진공 공정 솔루션을 제공합니다. VARIAN 3290은 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 을 사용하여 재료의 고속 균일 증착을 달성합니다. ECR 방법을 사용하면 증착된 재료의 속도, 두께, 균일성을 보다 잘 제어하여 성능을 향상시킬 수 있습니다. 이 장치는 또한 건조 및 습식 공정을 제공하며, 습식 공정은 여러 플라즈마 에칭 (plasma etching) 으로 구성되어 재료에 고해상도 계층 (high resolution layer) 을 생성합니다. 3290에는 내장 하드웨어 모니터링 머신, 진공 게이지 포트, 높이 조절 플랫폼 등, 안전과 편의성을 위한 여러 기능이 있습니다. 또한 VARIAN 3290 에는 프로세스 관련 문제를 실시간으로 식별하고 해결하는 데 사용할 수 있는 자동화된 프로세스 제어 툴 (automated process control tool) 이 포함되어 있습니다. 또한 각 작업의 프로세스 매개 변수 (예: 속도, 증착 시간, 증착 두께) 를 사용자 정의하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. < img src = "http ://cp.news.search.daum.net/api/publish.json? 안전 (Safety) 및 편리성을 위한 여러 기능이 있으며, 자동화된 프로세스 제어 모델을 통해 프로세스 관련 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 반도체 웨이퍼에 고품질 증착을 위해 설계되어 마이크로 일렉트로닉스 업계에서 더 높은 수율과 향상된 성능을 생산합니다.