판매용 중고 VARIAN 3290 #9240545

VARIAN 3290은 독특한 음극 아크 마그네트론 (cathodic-arc magnetron) 을 사용하여 기판 또는 성분에 예금 물질을 스퍼터링하는 고 진공 스퍼터링 장비입니다. 작은 부품을 코팅하고 새로운 재료 또는 공정 (prototyping) 을 만드는 데 사용되는 다용도 도구입니다. 이 스퍼터링 시스템은 여러 개의 분리 된 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 로 구성되며, 쉽게 작동할 수있는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 3290 년의 1 차 챔버에서, 가스는 냉동 펌프와 결합 된 터보 분자 펌프에 의해 대피되고, 챔버는 고효율 쿼츠-할로겐 램프 (quartz-halogen lamp) 에 의해 가열되어 더 나은 필름 접착과 심지어 증착을 가능하게한다. 챔버에는 회전 석영 튜브 (rotating quartz tube) 가 있으며, 이를 통해 빠른 기판 회전과 뛰어난 균일성이 가능합니다. 이 단위에 사용 된 음극-아크 마그네트론 (cathodic-arc magnetron) 은 전기 전류에 의해 생성 된 아크를 생성하며, 이어서 양극의 표적 물질을 스퍼터팅하는 데 사용됩니다. 고급 마그네트론 제어 장치 (Advanced Magnetron Control Unit) 는 최적의 필름 품질 및 증착률을 위해 다용도 및 정밀 전력을 제공합니다. 2 차 챔버에는 증착 공정에 대한 기판을 적재 할 수있는 세라믹 진공 챔버 (ceramic vacuum chamber) 가 포함되어 있습니다. 챔버 (chamber) 는 극한의 온도에 견딜 수있는 여러 층의 진공 절연으로 구성되어 있으며, 기판에서 다중 층 강착 및 정밀한 에칭을 가능하게한다. 또한, "스퍼터 '를 채취 하고 제거 하기 위한" 싱크' 를 약실 바닥 에 설치 한다. 자동화된 제어 머신을 사용하면 VARIAN 3290 (Tool Wide Settings) 및 증착 매개변수 (Deposition Parameter) 를 포함하여 다양한 작업 옵션을 사용하여 원격으로 가동할 수 있습니다. 에셋은 또한 각 챔버의 압력을 유지하기 위해 여러 진공 밸브와 벨로우 (bellow) 를 갖추고 있습니다. 또한, 3290 은 이온 폭격 모델을 특징으로하며, 저압 챔버 (low-pressure chamber) 의 이온 (ion) 을 자기적으로 가속시켜 기판과 접촉하지 못하게함으로써 퇴적층 접착을 최적화한다. 장비에는 광학 도량형 시스템 (Optical Metrology System) 이 장착되어 침전된 층의 정확한 두께를 측정합니다. 전반적으로 VARIAN 3290 스퍼터링 장치는 작은 부품 및 프로토 타입 개발을 코팅하기에 이상적인 선택입니다. 자동 제어기, 다중 진공 챔버 및 밸브, 다재다능한 이온 폭격 도구와 결합 된 독특한 음극 아크 마그네트론 (cathodic-arc magnetron) 은 뛰어난 접착력과 균일성을 가진 정밀한 재료 증착을 허용합니다.