판매용 중고 VARIAN 3290 #9236473

VARIAN 3290 스퍼터 (sputter) 장비는 표면 코팅 및 증착 응용을위한 다양한 산업에 사용되는 강력한 도구로, 박막 증착에서 우수한 접착과 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 고성능 챔버 (HPA) 로 구성되며, 고온 및 진공 공정을 유지하고 저온에서도 작동 할 수 있습니다. 3290 장치의 주요 구성 요소에는 다중 위치 로드 잠금; 터보 분자 펌핑 된 높은 진공 챔버, 스퍼터 소스 및 상위 플래튼 어셈블리. 또한이 기계에는 높은 진공을위한 터보 펌프 (turbo pump) 와 낮은 진공을위한 다이어프램 펌프 (diaphragm pump) 가 포함됩니다. 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 는 높은 진공 응용프로그램과 높은 진공 응용프로그램을 위한 탁월한 성능을 제공하며 프로세스 처리량 증가를 위한 가변 속도 제어를 제공합니다. VARIAN 3290 도구의 다중 위치 로드 잠금 챔버는 처리량 및 생산성을 최대화하도록 설계되었습니다. 빠른 기판 로딩 및 언로드가 가능하며, 다양한 크기와 모양 (shape) 의 기판을 수용할 수 있도록 조정이 가능합니다. 이 자산은 또한 기존 및 마그네트론 스퍼터링, 펄스 스퍼터 에칭 및 열 증발로 구성된 다양한 증착 프로세스를 지원합니다. 3290 의 스퍼터 소스 (sputter source) 는 다양한 대상 재료와 모양을 사용하여 뛰어난 균일성 (unifority), 즉 높은 처리율을 제공하도록 설계되었습니다. 사전 설정된 목표 각도는 균일성을 보장하고 일관된 스퍼터 범위를 보장합니다. 또한, 대상 재료 및 모양을 원하는 증착 과정에 맞게 쉽게 조정 할 수 있습니다. 어퍼 플래튼 (upper platen) 어셈블리는 교환 가능한 컴포넌트로 설계되어 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 또한 다른 기판 크기, 모양 및 재료에 대해 효율적인 진공 봉인을 허용합니다. VARIAN 3290은 높은 처리량의 박막 증착에 가장 적합한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 연구개발 (Research and Development) 을 위한 탁월한 선택으로, 신뢰성이 높고 비용 효율적인 범용, 다용도 스퍼터 (sputter) 장비입니다. 또한, 사용하기 쉬운 컨트롤 및 기판 크기와 재료 유형을 처리 할 수있는 기능으로 인해 상용 응용 프로그램에 적합합니다.