판매용 중고 VARIAN 3290 #9236452
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VARIAN 3290 스퍼터링 장비는 산업 및 연구 이용을위한 강력한 도구입니다. 순도가 높고, 화학량 학적 구성, 필름 두께의 단단한 제어, 증착률이 높은 얇은 필름을 생산할 수 있습니다. 이 "시스템 '은 대용량 진공실 과 표적 의" 어레이' 를 사용 하는데, 이것 은 박막 을 만들거나 기판 에 "코우팅 '을 하기 위해 대전된 입자 나" 이온' 으로 폭발 하는 재료 이다. 3290 단위에는 공기 매개 입자를 끌어내고 대기압을 최대 0.001 토르 (Torr) 까지 줄일 수있는 고 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 박막 이 전기적, 구조적, 광학적, 자기 와 같은 완전 한 동질성 과 정확 한 특성 을 지니게 된다. 이 약실 에는 또한 정확 한 온도 조절 장치 가 들어 있는데, 이것 은 "박막 '재료 의 효율적 인 성장 을 촉진 시켜 준다. 표적은 챔버 안에 설치되며 금속, 도자기, 유전체로 만들 수 있습니다. 이 물질들은 스퍼터링을 위해 활기찬 이온으로 폭격됩니다. 방에 존재하는 가스 종 (gaseous species) 은 얇은 필름의 특성을 결정하는 성장 필름 (growing film) 과 반응 할 것이다. VARIAN 3290 스퍼터링 머신의 효율성과 정확성은 디지털 포물선 반사경 마그네트론 도구에서 비롯됩니다. 이 자산은 균일 한 스퍼터링을 제공하고 기존 스퍼터링 시스템보다 증착율을 최대 20 배 증가시킵니다. 이 모델의 마그네트론 (magnetron) 은 입자 경로를 제어 할 수 있으며, 이는 생성 된 박막의 균일성과 균일성을 향상시킵니다. 3290 장비는 태양 전지, 디스플레이, 광학 센서, 미세 전자 기계 시스템 등의 응용 분야에 적합합니다. 높은 증착율, 정확한 제어, 균질성 (homogeneity) 을 제공하는 능력은 여러 분야에서 산업 및 연구 용도로 적합한 도구입니다. 이 스퍼터링 시스템은 다양한 박막 (Thin-film) 제품을 개발하고 만드는 데 강력하고 안정적인 도구입니다.
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