판매용 중고 VARIAN 3290 #9236373

VARIAN 3290 정전 결합 마그네트론 스퍼터링 장비는 박막 증착 목적으로 학술 및 산업 실험실에서 사용되는 널리 사용되는 증착 시스템입니다. 이 기계는 더 높은 안정성과 효율성을 제공하면서 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 의 전체 비용을 동시에 절감하도록 설계되었습니다. 이 장치는 정전 식 연결 무선 주파수 (rf) 전원에 의존하여 스퍼터링에 필요한 이온을 생성합니다. 이것 은 "에너지 '를 표적 물질 로 전달 하여, 보다 일관성 있고 반복 할 수 있는 과정 으로 인도 한다. rf 전원은 기계에 더 큰 에너지 제어 (energy control) 를 제공하여 각 응용 프로그램에 대해 적절한 수준의 스퍼터링 속도를 달성 할 수 있습니다. 3290은 또한 자기장 강화 중화 (magnetic field-enhanced neutrization) 기술을 자랑하며, 이는 에너지 이온 폭격으로 인해 공구 성분이 손상되지 않도록 동시에 보호하면서 최고 이온화 속도를 보장합니다. 이 기술과 O 링 (o-ring) 인장의 조합은 자산이 증착 과정 기간 동안 안정적으로 밀봉되도록 할 수 있습니다. 이 모델에는 다양한 보조 기능 (예: 자동 튜닝 기능) 이 제공되며, 이를 통해 스퍼터링 프로세스를 수동으로 조정할 필요 없이 최적화할 수 있습니다. 또한, 공정 챔버에는 공정 가스 반응을 모니터링하기 위해 in-situ 진단 장치가 장착되어 있습니다. VARIAN 3290은 실리콘, 알루미늄, 금 및 기타 금속과 같은 다양한 기판을 수용 할 수있는 다양한 범위의 기판 보유자를 자랑합니다. 또한 모듈식 (modular) 설계를 통해 추가 스퍼터링 소스를 사용할 수 있으며, 다양한 애플리케이션에 다양한 옵션을 제공합니다. 이 스퍼터링 장비는 광학 코팅 (optical coating) 및 반도체 부품을 포함한 다양한 박막 증착에 이상적입니다. 다재다능성과 신뢰성으로 유명하며, 학술적· 산업적 실험실에도 널리 보급된다. "효율적 운영 '과" 비용 효율적' 의 조합으로 "품질을 저해하지 않고 돈을 저축하려는 '누구에게나 타의 추종을 불허하는 선택이 된다.