판매용 중고 VARIAN 3290 #9236371

바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 가장 까다로운 박막 증착 응용 분야에 사용되는 박막 증착에 사용되는 고귀한 가스 스퍼터링 장비입니다. 일반적으로 DC 또는 펄스 마그네트론 스퍼터 소스 (pulsed magnetron sputter source) 로 구성되며, 기판과 소스 사이의 반복 가능한 짝짓기, 계기 및 인터 록이있는 효율적인 진공 펌핑 시스템으로 가능합니다. 이 장치는 일반적으로 기판 지원 플랫폼 주위에 배치 된 상단 장착 스퍼터 (sputter target) 가 장착 된 대형 원통형 챔버로 구성됩니다. 이 플랫폼은 표적-기판 거리를 매우 반복 가능한 방식으로 정확하게 일치하도록 위아래로 이동 할 수 있으며, 응용 프로그램에 따라 한꺼번에 최대 3 개의 기판을 증착 할 수 있습니다. 챔버는 2 x 10 ^ -9 Torr 이상의 초고 진공 (UHV) 압력으로 작동하도록 설계되었습니다. 터보 분자 펌프 (TMP) 는 UHV 조건을 생성하는 데 사용됩니다. 스퍼터 소스는 DC 또는 펄스 마그네트론으로 증착 속도와 조성 (예: Ti/Al 옥사이드 필름) 을 잘 제어 할 수 있습니다. 직류 (DC) 또는 펄스 대상 (pulsed target) 에는 에치 속도 균일성을 향상시키는 방패가 장착되어 있으며 균일성을 돕기 위해 일부 시스템에서 기울어 질 수도 있습니다. 특수 음극 장착 (Special Cathode Mounting) 은 표적이 챔버 벽으로 단절되지 않도록 하고 안정적인 작동을 보장하는 데 사용됩니다. 마지막으로, 3290은 기판의 회전 및 기울기, 표적으로의 전류 및 전압, 챔버 압력 모니터링을위한 질량 분광기, 자동 기판 정렬 및 기판의 온도 조절을 가능하게하기위한 적응성 열 방열기 (adaptable thermal heater) 를 갖추고 있습니다. 요약하면, VARIAN 3290은 고품질의 재생성 가능한 박막 증착을위한 강력한 스퍼터링 머신입니다. 광학 코팅, 반도체 및 MEMS 장치 제작 및 OLED 디스플레이 제조와 같은 까다로운 박막 증착 응용 분야에서 선호됩니다.