판매용 중고 VARIAN 3290 #9236366

VARIAN 3290은 스퍼터링 장비로, 반도체 및 재료 산업에 널리 사용되며, 금속, 반도체, 산화물 및 기타 재료의 얇은 필름을 침착시키는 데 사용됩니다. 3290 은 다양한 구성 옵션을 사용하여 다양한 증착 프로세스를 수행합니다. 즉, 정확한 제어가 가능하며, 안전성을 내장하여 안정적이고 예측 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 고효율 운영은 재료 비용과 생산 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. 공정 정확도, 반복성, 제어 (Control) 로 작동하며, 작은 변형조차도 큰 영향을 미칠 수있는 박막 구조에 중요 할 수 있습니다. VARIAN 3290은 고효율 트리오드 마그네트론 스퍼터링 소스를 사용합니다. 이 유형의 스퍼터링 (sputtering) 은 큰 기판보다 매우 균일 한 증착을 가능하게하여 더 효율적인 PCB에 이상적입니다. 이 시스템에는 스퍼터링을 위해 전자를 가속시키기 위해 고출력 음극이 장착되어 있습니다. 이 음극은 최대 30kW의 유효 이온 전류를 생성 할 수 있으며, 낮은 스퍼터링 압력 (sputtering pressure) 에서도 광범위한 활동을 제공합니다. 3290의 고효율 기판 가열 장치는 유도 코일을 사용하여 기판 표면을 표적화합니다. 이를 통해 동시 기판 온도 제어 및 기판 회전을 가능하게하여 균일 한 가열 및 필름 두께를 보장합니다. 스퍼터링 과정에서 기판 온도와 기판 회전을 모두 조정하여 균일 한 증착을 유지할 수 있습니다. VARIAN 3290 기능의 고급 상태 표시 (advanced status display) 를 통해 사용자가 운영 상태를 확인하고 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 3290 에는 모든 프로세스 단계를 자동화하고 프로세스 품질 제어를 보장하는 레시피 기반 절차도 포함되어 있습니다. 이를 통해 이전 증착 매개변수를 보다 쉽게 복제하고 증착 중 기판 손상 위험을 줄일 수 있습니다. 전반적으로, VARIAN 3290은 재료 및 반도체 산업에 이상적인 고급 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 이며, 동적 응용을위한 다양한 재료 및 컴포넌트의 박막 증착에 많이 사용됩니다. 고효율, 신뢰성 있는 프로세스 제어, 고도의 균일성, 정적 증착을 통해 다양한 어플리케이션에 귀중한 옵션을 제공합니다.