판매용 중고 VARIAN 3290 #9236365

바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 반도체와 박막 사용자의 요구를 충족시키기 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 저압 스퍼터 증착 (sputter deposition) 또는 이온 빔 스퍼터 증착 기법을 사용하여 금속, 유전체, 실리콘 및 반도체와 같은 다양한 물질의 박막 증착이 가능합니다. 동반 장치 인 VARIAN 3300 (VARIAN 3300) 도 있는데, 이는 초고진공 공정을 위해 설계되었으며 증착 속도가 빨라집니다. 3290 은 모듈식 (modular) 설계를 통해 다양한 요구 사항을 충족하도록 재구성할 수 있습니다. 그것 은 여러 가지 회전 "마그네트론 '구성 으로 쉽게 구성 할 수 있으며, 여러 기질 에 산화물, 질화물, 금속" 필름' 을 증착 할 수 있다. 기계 내의 강력한 전자석은 고밀도 및 균일 한 증착률을 허용합니다. VARIAN 3290에는 두 가지 유형의 음극 기반 DC (Direct-Current) 전원 공급 장치 (표준 건조 전원 공급 장치 및 보다 강력한 전원 공급 장치) 가 장착되어 있습니다. 건조 전원 공급 장치 (Dry Power Supply) 는 효율이 높고 전류 펄스가 좁기 때문에 우수한 증착 특성을 제공합니다. 습식 전원 공급 장치는 향상된 예금을 위해 더 높은 이온화 플럭스 (ionization flux) 가 필요한 프로세스에 적합합니다. 이 도구는 온도조절기 (temperizable tempering-controlled stage) 도 갖추고 있어 작동 과정에서 기판 가열이 정확하게 가능합니다. 스테이지 (stage) 는 다양한 온도 프로파일을 수용하여 기판에 박막 (thin film) 을 최적으로 증착시킬 수 있습니다. 또한, 3290은 복잡한 나노 물질에서 대면적 마이크로 일렉트로닉 기질에 이르기까지 다양한 기질을 수용 할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 효율적인 기판 전송 및 청소 프로세스를 위해 2 개의 별개의 부하 잠금 장치 (load lock) 가 장착되어 있습니다. 로드 락 (load lock) 은 고급 냉각 모델로 설계되어 장비 전체의 온도를 정확하게 제어합니다. 이 냉각 시스템은 또한 기계적 응력으로부터 장치의 민감한 구성 요소를 보호합니다. 전반적으로, VARIAN 3290은 매우 맞춤형 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 으로, 다양한 재료와 기판에서 얇은 필름의 정확한 증착을 위해 설계되었습니다. 모듈식 설계 (modular design) 와 고급 컴포넌트 (advanced component) 를 통해 작업 중 효율성과 제어를 극대화할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 반도체 및 박막 응용 프로그램에 적합합니다.