판매용 중고 VARIAN 3290 #9236362

바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 박막을 다양한 기판에 증착시키는 데 사용되는 산업 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 금속, 산화물, 반도체 및 절연체를 포함한 다양한 박막 재료를 증착 할 수 있습니다. 그것 은 크기 와 모양 이 서로 다른 밀폐 된 커다란 "스퍼터 '(" 스퍼터' 의 표적) 를 갖추고 있는데, 이것 은 일반적 으로 퇴적 되어야 할 재료 로 이루어져 있다. 단일 또는 다중 표적 스퍼터링 기능 (single-target sputtering capability) 과 대상 스퍼터링 기술을 회전하고 색인화하는 행성 운동 기능이 장착 된 마그네트론 스퍼터링 음극이 있습니다. "스퍼터링 '음극 은 진공실, 표적 기판 및" 가스' 를 이온화 하기 위한 "마그네트론 '원 으로 구성 되어 있다. 진공실 은 "가스 '를 약실 에 유입 시킬 수 있게 하고, 표적 기판 은" 스퍼터링' 과정 의 최상위 표면 역할 을 한다. "마그네트론 '원 은" 가스' 분자 와 음성 "이온 '이 약실 을 통해 방해 받지 않고 이동 할 수 있게 하는 높은 진공 상태 를 조성 한다. 이 스퍼터링 장치는 또한 성능을 최적화하고 오염을 방지하기 위해 초고진공기를 사용합니다. 이 도구에는 3축 조작기 (three-axis manipulator) 가 있으며, 스퍼터링의 기판 홀더를 배치하여 균일 한 적용 범위, 고속, 원형 또는 오프셋 원형 동작을 허용하도록 구성할 수 있습니다. 또한 스퍼터 침식 및 기능 제어를 제어하는 프로그래밍 가능한 전후 비율이 있습니다. 가변 프로그래머블 테이블 (variable programmable table) 은 미리 정의된 최대 3 가지 제어 영역을 제공하여 사용자가 기판 및 스퍼터 증착 패턴 재료를 사용자정의할 수 있습니다. 유도 결합 플라즈마 소스 (inductively coupled plasma source) 도 추가 다재다능성을 위해 자산에 통합되어 정밀성을 허용합니다. 균일성을 보장하기 위해 3290은 입자 모양 및 입자 크기를 제어하는 3 차원 입자 크기 모니터를 사용합니다. 또한이 모델은 쿼츠 결정 두께 모니터를 사용하여 정확한 증착 제어 (deposition control) 및 광학 방출 분광법 (optical emission spectroscopy) 및 질량 분광법을 지속적으로 프로세스 제어를 수행합니다. 전반적으로 VARIAN 3290 (VarIAN 3290) 은 다양한 기판에서 박막을 정확하게 스퍼터링 할 수있는 고성능 기능을 갖춘 고급 장비입니다. 이를 통해 고객은 기판 증착을 위한 효율적이고 효과적인 솔루션을 제공하여 최고의 정확성과 제어를 실현할 수 있습니다 (영문).