판매용 중고 VARIAN 3290 #9236359

바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 반도체 및 광자 응용 프로그램을위한 박막 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 진공 증착실, 고전압 전원 공급 장치 및 예금 카세트로 구성됩니다. 이 장치는 균일성이 높고 균일성이 뛰어난 전도성 또는 반도체 물질의 증착을 가능하게합니다. 3290 년의 진공 증착 챔버 (vacuum deposition chamber) 는 재료와 환경에 대한 높은 수준의 제어를 유지하도록 설계되었습니다. 여기 에는 "스텐레스 '강 의 대형" 스텐레스' 실 에 양압 의 차동 감각 장치 가 장착 되어 있어서 "챔버 '에 오염 이 없도록 한다. 증착 "카세트 '는 쉽게 적재 하고 적재 되지 않도록 설계 되었으며, 이 도구 에는 다양 한" 스퍼터링' 의 표적 과 "액세서리 '가 들어 있다. VARIAN 3290에는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스에 필요한 플라즈마 (plasma) 필드를 만들기 위해 고전압 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 스퍼터링 챔버는 DC 및 펄스 전원 공급 장치를 모두 처리하도록 설계되었습니다. 전원 공급 장치는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스의 안정적인 작동과 정확한 제어를 위해 설계되었습니다. 또한 전원 공급 장치 (Power Supply) 에는 운영자의 안전을 보장하고, 에센셜 (Essential) 자산 구성 요소를 위험 요소로부터 보호하기 위해 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 3290 은 또한 증착재 의 효율적 인 적재 및 하역 을 위한 "카세트 '를 제공 한다. 저압 또는 극저온 스퍼터링 (cryogenic sputtering) 과 함께 사용되도록 설계되어 보호 레이어 (protective layer) 의 더 두꺼운 층을 갖는 얇은 층의 물질을 증착 할 수 있습니다. 예금 카세트 (deposit cassette) 는 연산자에게 증착 과정에서 재료의 분포를 제어하는 효율적인 방법을 제공하도록 설계되었습니다. 바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 증강률 (Growth Rate), 전원 공급 장치 설정 등 증설 프로세스 전반에 걸쳐 다양한 매개변수를 자동으로 모니터링하고 조정하는 컴퓨터 제어 패널과 함께 제공됩니다. 이 모델은 또한 운영자에게 챔버 환경에 대한 실시간 정보를 제공하도록 설계된 다양한 온도 (temperature) 및 가스 센서 (gas sensor) 를 갖추고 있습니다. 전반적으로, 3290은 두꺼운 보호 계층 (layer of protective layer) 을 가진 박막 재료의 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 박막 증착 공정 (Thin-film deposition process) 을 정확하게 제어하고, 정확도가 높은 다양한 혁신적인 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 필수 시스템 구성 요소를 잠재적 위험으로부터 보호하기 위해 안전 (safety) 을 염두에 두고 설계되었습니다.